精度の高い(良い)加工やサイクルタイムが速い加工には、実は振動を制御する必要があります。
その振動を世界最高レベルで制御する除振台が、日本の企業からリリースされました！
海外からは既に大型引合がある中、日本からの引き合いがほとんどない！
日本の半導体製造装置設計者に送る、ソリューション動画となっております！
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《目次》
■0:00 イントロ
■0:55 倉敷化工とは？
■3:50 製造業における振動の重要度
■10:05 半導体の微細加工
■13:20 振動を制御する方法
■20:00 まとめ
【書き起こし】世界最強の「半導体加工精度」を造る日本の技術！加工を極めろ！！
(00:28) どうもこんにちはものづくり太郎チャンネルのものづくり太郎でございます本日はもうね12月は半導体月間ということで半導体関連のお話でございますよ後ろにあるので世界最強の制度を作るという題材でですね使っていきたいと思います実は今回半導体関連の話とお伝えしておりますが自動車系列企業からの依頼になってるんですね今僕っていうのは工作機械とか半導体メーカーですね前回 MD さんでございましたが安藤たいですとかあと8日太りオートメーションですねありますが初めてのかと思うんですね [音楽] 内容としては半導体関連なんですけどリサソリューションとしたマツダの茶碗サプライヤーから依頼が入ってきてると最初のやつだっていうことでねこれも嬉しいですね僕ですね広島で退団が決まっておりましてマツダの本拠地に行くことになっておりますのでこれもお楽しみにいただければ幸いでございますがいつまで降臨ですねマツダの車もすごいことで薬ですよねそのヨーロッパナイズされてると言うか非常にあるような車だと思います
(01:37) 今回ですね梨木香歩さんというところから PR してほしいというお話をいただいてるんですけども倉敷どういった会社かって言うと例えばマツダの松山さくら家でございますので自動車部品でいえばそういえばそうなんですエンジンでございますエンジンマウントシステムという事でシリンダーヘッドがアイテムとしてこのようなものがあるとする振動吸収するということで変更になりますのでガソリンをですね燃やして動力に生えてるわけでございますので肛門での使用に耐えうる能力が必要だったりするんですね サスペンションでございますとサスペンションもうそろそろ地面からですね振動拾いますのでモデレートタイヤを支えなサスペンションの接合部に利用して地面から乗ってくるの何時トヨタ振動を吸収するような部品も作ってるとそれとか純銅で吸収するんですけども社内の人間を乗せるですね
(02:43) Siri と部分に関しても最適なですね乗り心地を追求するためにこの振動調整したところにも実は部品がですね疲れてると駆動部品ダイナミックダンパー効果ですね払いシートの振動吸収だったり住宅何も疲れてまして2階からの振動ですね吸収して一回を静かにしてあげるみたいですねそういったものにもこれ実は使われてたりするともちろん自動車関連だけではなくてこんな感じでマンションとかですねビルの下なんかにありますよね神の揺れを吸収するかですねこういった配管の継手ですよねこうした所も揺れを吸収でき そっから水が漏れちゃったりとか電気が断線したりするわけでございますので建築業界の中でもこの産業下支えするようなんですねモジュールと言うか部品を製造されてると今回はその幽霊みたいですよねそうなそこからつながるということでそういったもの全部揺れに対しての解を提示してくれる企業が倉敷化工さんでございますその解を提供する挑戦状が届いたということで考えなくてはならないような要素なんですね絶対に外すことができないようでございましたということでプリント基板部品を置いていくんですけどもフレームが使われてると南海部品が載ってるんですけどものすごく小さい部品をこの基盤の
(04:24) ポセイドン実装していくにはその色 運動ですね非常に考慮してこの装置の作りこみをする必要があるんですねもちろんこういったチップマウンターだけではなくてですねこれは工作機械も同様なんですねこの先39の熱膨張と振動と戦う必要がございますお返事早期は熱膨張常にですね回収してこれるレーションをリアルタイムでかけてるんですねそういったスペシャルせずになってるんですけどもそのちょっと満タンに負けず劣らずですねこの機会に関してもその振動とか熱に対してですね対策を取られた機械家づくりをされてるわけですけども例えば熱膨張ってどのくらいかって言うと温度が1度分かれば1
(06:01) M あたり1/100ミリぐらいですね膨張するんでこんな感じで収納もでございますって言われてますけどももし僕って言葉いろんな影響があるとしかも振動が起こると何が起こるかって言うと例えば ここからここまで加工するっていうことでまあ想定の加工時間があるわけですねこうやって設置させてこうやってこういうふうに動かすと動く時に発生したいんだけどもその振動を抑えて治った後に削らないといけないということで振動発生する加工するで泊まる時もまたこれ振動が発生しますのであの上ではこのような加工時間になってるんですけども実際に加工するとより多くですねデータ加工時間が短くなりますのですべて削るには通常よりもより多くの時間が必要になるということなんですね振動が治ってから加工しないといけませんのでそれも考慮しながらですねそれ削っていかないといけないと
(08:11) 筐体各部分の振動の影響からリニアモーターとかその軸が動くわけですから絶対死んだが起こるということでシュミレーションと違う結果になるということですねじゃあ今の工作機械ってどういう風に草の振動を抑えてるかって言うと対戦たんだと恋になるキャストですよね大分幸崎海のその土台っていうのはいいものですよねこの交差機械の鋳物工場に行ってきてものすごくでかい鉄の塊ですよ作るところも行ってきたんですけども手伝っと振動したりです熱が非常に溜まりやすいんですねこのミネラルキャストっていうのは人工大理石でございますので駐車場に比べてですね熱伝導率としては25日熱が伝わりにくいそして4月も半分ございますので熱の伝導に関しても1/50ぐらいに抑えることもできますし仕事します奥様ですね早くを納めることができるんですね光合成と減衰性を達成してるようなものは欧州では上位モデルの3割 大分ミネラルキャストで作られてるんですね何故かって言うとやっぱりその妹の顔を作る労働環境ってきついんですよね暑かったりしなかったりするんで織物工場が欧州ってのはどんどんなくなってきてるのでミネラルからされないんですけどで作ることができるなんか様ですねこういったものですね年に開発しようとしてましたけども動画何かに見せてもらいましたけど非常に滑らかに加工ができるんですねいいと思うことで非常に精度の高い加工ができると品質には絶対的にこう言って振動を制御しなければならないわけなんですねもう少し分かりやすく説明しましょう行う際は振動があってはならないということでございますこういった振動すると出てくるわけですよね振動の制御ができていない場合はここで振動がかかって治ってから加工をしないといけないということが身動画
(10:07) 過去がもちろん必要でございまして青丸の部分になってから加工を実行しますとこのように振動抑えることが出来れば制御できてる場合はですね心臓の就職が早いので赤い丸のところですぐ学校に入れるということでございますなのでこのオレンジの部分の時間を短縮してよねサイクルタイムに影響してくるわけですね次の加工に入ることが可能でございますので治りました確保しました治りましたこうしますということで振動制御しない場合よりも非常に多くの加工ができるということになります心労を制すれば高い精度の加工サイクルタイムの短縮等の恩恵を手に入れることが可能でございますと精密な加工とは振動との戦いで制御の技術がこれ絶対的に必要になってくるんですね この信号を高いレベルで生後しなければならない実は領域があるんですねお察しの通りでございます半導体製造装置ですねここから繋がってくるわけね面白くなってきたでしょ例えば加工前の裏加工ありますよねこの加工してるかということでございますがもうこれって工作機械より高精度の加工を行ってると半導体のか色の確認には電子顕微鏡が必要なほどでございますどのくらい細いとかというとマックとかですね僕が使ってる
(10:52) MacBookAir にですね搭載されている半導体M 1とかですねMrMAX だっけ言われてますけどこれって何メートルという超微細加工が解かずほどほどほど 施されておりましたがこの案に対してですね160個のトランジスタ回路を描いてるということでございますここにこんなくらいの差森下165個も加工が行われてるんだよやばいでしょ NM の加工はどの程度微細なのかっていうものを表したものなんですよちょっとよくわからんっていう感じですけど9の直径を1 M にゲットした時1nm っていうのはどのくらいかっていうと半分らしいですね スズキ小型いってことですよ要するにこういった加工を行うには想像を絶する超精度が求められることが皆さんでご理解頂けると思いましたそして厄介なのは観光には二つの震度と戦わなければ食べない時突然小出
(11:59) SMT とか工作機械もそうなんですけども掃除そのものが動きますよね自分をいい匂いに入って後からそのうちの心臓がありますということでこれた装置の振動を制御することを精神と言いますもちろんは半導体装置もこの振動と戦う必要があるし半導体レベルになるとですね実はそのもの自体が振動しておりますよね外からその振動というノイズがやってきてですねこの装置を揺らすんですよって工場に起因して発生する振動苦いこの振動の制御を女神と言います例えばこの工場内にある信号ってどういったものがあるかと言うとコンプレ クイーンユニットですね工場にユーティリティ医療控除の構造からですね工場のそもそもその基礎の部分がしっかりしないとふにゃふにゃなるわけですだからそこもしっかり作らないといけなかったりしますし東金ですね歩いたりしてそれもしんどかったですねまたは他の装置が入れるとこれもノイズとして上がってくる時の音と音の振動に打ち勝つ必要がございますとこの二つの振動に打ち勝ち半導体に必要な長制度を支える技術が日本にありますそう倉敷化工にはねアップルにはね赤字ですけどあの倉敷化工さんにはあるんで世界最強の制度どういう風に作っていくのかどたようですね提供しているわけですけどもこの半導体製造装置っていうのは中を見るとこういうような存在になってですねその
(14:39) 松高する者が持ってると感じでございましてこれすごくしてくださいここねこれだと4個ありますけどこれですね振動を除去する構造になっておりましてこの加工するよう無理ですねどこの振動を抑えてあげるということでございます本読んだこれがないと言うそうです4個ついてますけどこれ6個だったらいい格好だっておりますその装置によって使う数が異なってくるとアリスで最強の女神剤を発売したということでこのものづくり太郎人です白羽の矢が立ったという間ですね今日のレッスンでの名前が中心にアクティブでございますこのモジュール日本人の技術が詰め込まれているんですねさっき二つ同時にしか持ってレベルで詰め込まれておりますまずその構造を解剖して 梨木香歩さんにしかですね採用してない独自の構造がもたらすこんな感じだよこの中身を見るとこんな感じになってると内部構造でこのような構造に似てると思います 少し使いにくいかもしれそれと同じ感じです今揺れてるけども建物は少ししか入れない行動などの超最強版ではこれがこれが少ししか入らない最強フォートナイトでございますこれからもこれ見てくださいこのございますが一番流行ってるんですね
(17:10) 馬鹿らしいんだけど一番女神効果が強いかな地面からの揺れが伝わりにくいとこれだけじゃねえ世界一細いとこはすごいですね前と後ろで高度な制御を行ってるということでこの前と後ろで一つがフィードバックともう一つがフィードフォワード機能でございますって何かって言うと起きた事象に対してそれを補正するとこれからこういう風なことが起きるとこう言ったら怒るだろうからそれを制御して補正していくということでございますこういうグラフがありますよっていう風に見れば分かりませんので 今起きたものから返すいうことでフィードバックが発動してですねこれですよこの青いものがその正義を使わない人狼なんですけどもいいのマックの効果だとこの緑色の線になるわけですねそれプラスタイムからの振動が降るとそれを想定して帰るからそれを想定して女神するわっていうことでフィードフォワードが発動するということでこの二つを足すとこれ一気に治るという感じでございます高速振動を取り除くということでございますしてください今何だったんですけど装置そのものが入れるそれを生成しないといけないから覚えてるかと思うんですがこの二つありそれらを立てればこちらが立たず考えてみてください
(18:30) [音楽] [音楽] 上に装置が乗ってるわけですから動く部分が乗ってるわけですからそれが動くともちろんここに対してモヒートバックとフォワードを使って政治を行っていきますとまずはこれこの黄色いやつだよねこれが何もしない状況昨日の効果を当ててやるとこれだけ音小さくなるとさらにフィードフォワードの機能も追加するともうほぼ被ってるということでございましたそのものの揺れを低減可能でございまして倉敷化工さんのいいところはしかもこれを フィードバックとヒートフォワード昨日は標準で装備されてるということでございますさらに凶暴に対する優位性がございまして実は市補正にはリニアモーターを採用してるんですね他の競合とかまあそのくらいしか持ってる尿の中にもあるんですけども9月ですよするんですね時の方が早くそしてでもよく動くわけなんですね開発で制御するよりも絶対的に優位性を保持してるのが今回の商品ですね何だっけ西真理にアクティブでございましたがまとめに入っていきたいと思います制度とサイクルタイムを支える最強の女神ないということで精神リアクティブでございます構造が良いつもりでございません業界唯一のジンバルピストン構造でございます正式にはドームジンバルピストン講座が続いていますがフィードバックを標準搭載しております
(20:56) そして最後に返信機能も秀逸でも流しているバッグフィードフォワードもちろん使ってるししかもリニアモーターを採用しておりますので早いし背の高いところに移動した1で鍛えられた品質管理が終わりましたしかもねこれらシカゴさんの強みでございません既に海外メーカーからお家と試合があります日本人どうしたんですか大変ですね チェックイン3時に来てほしいですねということでございました来年の10月ぐらいまではもう埋まってしまったんですけど 今回はですね半導体月間ということで半導体に関する動画非常に多かったと思いますが実は僕出身はお前の前の企業ですみすみなったので
(22:34) FA にも強い試合後チームをやってる自動車のことも減ってるし交差機械なんかも取り上げさせて頂いてますまた機会の非常も今度講演会行ってくださいっておならする人ですね 開発したようなロボットでございました気になるでしょっていうことでここね目が話す事で次回は fa権ですがロボットにフォーカスをして皆さんに情報をお届けさせていただきたいと思いますということで今日はありますどうもここまで見ていただきましてありがとうございました次の動画で会いましょうじゃあね
■参考資料(出所・出典)
・ヤマザキマザック、金属3Dプリンタに参入――積層と切削を統合した加工機を発表 https://monoist.itmedia.co.jp/mn/articles/1410/10/news114.html
・半導体とは
https://www.hitachi-hightech.com/jp/products/device/semiconductor/about.html
・SIer協会 中小企業へロボ導入後押し、多品種少量こそロボットの出番 https://www.automation-news.jp/2020/10/51398/
・IoTを普及させるための課題とは？メリットと一緒に知っておこう
https://digital-shift.jp/flash_news/s_210322_4
・カーシート選び方ガイド
https://www.rakuten.co.jp/category/209961/guide/
・表面実装機（マウンター）ヤマハ
https://www.yamaha-motor.co.jp/smt/mounter/
・高速・高精度フリップチップボンダ YSB55w 特長
https://www.yamaha-motor.co.jp/smt/placer/ysb55w/feature/
・プリント基板実装工程の全て | 製造コストダウンの方法とは https://emb.macnica.co.jp/articles/3903/
・MLCCを通じたSDGsの実現（前編）
https://article.murata.com/ja-jp/article/achieving-sdgs-through-mlcc-1
・Salome-Meca 2018を用いたモーダル解析（SDLV） https://qiita.com/Jun_Tatsuno/items/e51b3f5b84266b4b25f7
・”工作機械メーカーの使命として挑んだ熱変位制御”
https://www.okuma.co.jp/thermo-aniv/message.html
・”MACHINE BEDS AND MACHINE BED COMPONENTS(ミネラルキャスト)”
https://www.rampf-group.com/ja-jp/%E8%A3%BD%E5%93%81%E3%81%A8%E3%82%BD%E3%83%AA%E3%83%A5%E3%83%BC%E3%82%B7%E3%83%A7%E3%83%B3/%E3%82%A8%E3%83%B3%E3%82%B8%E3%83%8B%E3%82%A2%E3%83%AA%E3%83%B3%E3%82%B0/%E6%A9%9F%E6%A2%B0%E3%83%99%E3%83%BC%E3%82%B9%E3%82%B3%E3%83%B3%E3%83%9D%E3%83%BC%E3%83%8D%E3%83%B3%E3%83%88/
・シリコンウエハーとは？ PC、スマホ、車など暮らしを支える便利な部品 https://04510.jp/times/articles/-/3248?page=1
・アズワン 研究用高純度シリコンウェハー4-N-1 /2-960-06 https://www.amazon.co.jp/%E3%82%A2%E3%82%BA%E3%83%AF%E3%83%B3-As-One-2-960-06-%E7%A0%94%E7%A9%B6%E7%94%A8%E9%AB%98%E7%B4%94%E5%BA%A6%E3%82%B7%E3%83%AA%E3%82%B3%E3%83%B3%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%8F%E3%83%BC4-N-1/dp/B015ZMANKE
・「7nmの半導体」に7nmの箇所はどこにもなかった https://news.livedoor.com/article/detail/17044867/
・Apple、M1チップを発表
https://www.apple.com/jp/newsroom/2020/11/apple-unleashes-m1/
・新型定置式コンプレッサを7月より販売開始いたします https://www.airman.co.jp/topics/detail.html?id=29
・イメージセンサーのふるさと、ソニー熊本テクノロジーセンター訪問記・第3回「クリーンルームの見学」
https://ganref.jp/m/sugimoto/reviews_and_diaries/diary/22776
・クリーンユニット
https://www.topre.co.jp/products/aircon/clean.html
・制御ソフトウェア / 模擬（シミュレータ）
https://www.co-nss.co.jp/engineering/eng-case/eng-case-study/case002.php
■ものづくり太郎チャンネル ものづくり太郎のプロフィール
YouTube 活動のためミスミを退社。日本では製造業に関わる人口が非常に多いが、
YouTube の投稿に製造業関連の動画が少ないことに着目し、「これでは日本が誇る製
造業が浮かばれないと」自身で製造業(ものづくり)に関わる様々な情報を提供しよ
うと決心し、活動を展開。ものづくり系 YouTuber として様々な企業とコラボレーシ
ョンを行っている。業界に関する講演や、PR 動画制作等多数。
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