ASMLのEUV用クリーンルーム 工場見学

学生のFrederiekevanDixhoornをASMLクリーンルームに連れて行ってください。

 

【書き起こし】ASML の EUV 用クリーンルーム訪問 | ASML

(00:10) 私はフレデリカです。私は 23 歳で、スペンサー大学で持続可能なエネルギー技術を勉強しています。今、私たちはその側の灰色の建物に立っていて、この建物でラチェット・ルマーと会う予定です。 EUVクリーンルーム 私たちの訪問をとても楽しみにしているので、彼に会いに行きましょう こんにちは、私はロジャー・フレデリカです ようこそ、ここで靴を脱ぎます、それではこれを頭からかぶせましょう はい、それでは別の色を手に入れます あなたよりも、はい、あなたは訪問者なので、あなたはダークブルーを着ています。
(00:55) ケーブルに慣れていない人全員が緊急事態の場合に備えて安全に避難できるようにするため、すべてをきれいにするだけでは十分ではなく、本当にこれをすべてクリーンルームで着用する必要があります 人は最大の汚染要因です 私たちの服 彼らは常に粒子を落とします これらの粒子はすべて機械に入り込み、問題が発生します だから私たちはずっと隠さなければならないのです だから私も顔で覆わなければなりません、あなたも フェイスマスクが必要です、フェイスマン、大丈夫です、ただそれを置いてください
(01:28) それからそれを顎に注ぎます、それで私たちが今通過したのは何でしたか、それはシュートの外側を確認するための掃除でした、はい、それも掃除されました、わかりました、この場所は本当に広いです、どうやってきれいに保っていますか 内部には清掃チームがいて、床を掃除し、キャビンも掃除します。そしてもちろん、上部にある正方形のフィルターがたくさんあり、横にある名簿がそこにあります。 空気は循環して上部に戻ります
(02:03) このフィルターにフィードバックされているので、きれいに壊れます、はい、確かに 614 は問題ありません。ここのマシンは組み立てられたようなもので、その後、別の場所に移動しました。これらはモジュールと呼ばれるもので、3 つの部分で構築されます。 中央の下と上の部分 これはシステムの中間部分です。そこで私たちはそれをここで構築してテストし、それからこれらの輸送コンテナに置き、エアクッションを使用してホバークラフトのように廊下を移動します 投票用紙に記入し始めたらそう押してください
(02:45) トラック、床が完全に破壊されますよ、ここは高速道路の峠が本当に近いのですが、機械に振動が影響しないでしょうか。長さ 23 メートルのポール 1500 本を地面に差し込む必要があります。わかりました。それが基礎です。 建物は素敵で、2つの壁の間に隙間があります。2つの異なる壁があるように見えます。なぜですか、これは実際にはエアコンの戻りの流れなので、あなたはエアコンについて話し続けていますが、実際には内部は本当に暖かいです、実際の温度も
(03:20) 洞窟内の湿度は、ナノメートルの精度で厳密に制御されています。そうですね、温度が少し変化すると、機械内のすべての金属部品も変化するため、すべてが同じ温度に保たれていることを確認する必要があります 素晴らしく、安定しています。わかりました。ここでマシンの 1 つを見てみますが、中に入るなと言われます。中に入るのは許可されていますか。システムの最も重要な部分の 1 つである素晴らしいマシンに入力シートを使用します。 システムはオープンで光学系は露出しています
(03:53) 彼らはこの標識は大丈夫だと見るだろうし、今のところこのシステムはグレード 4 なので、本当に重要な部分が露出していないことを意味するが、それでも内部に入る許可を得る必要があるときは常にそうするのは得策ではない。 これは完全なシステムなので、すべてのキャビンにセンサーが装備されています。これはキャビン内の空気を吸い込む一種のチューブで、ここに含まれる粒子がカウントされます。より高いレベルの粒子が存在するいくつかのエクスカーションが表示されます。 これらのピークの原因は、間違いなく人か何かが入ってきたことです
(04:32) シフトの開始とシフト変更が表示されますが、実際にどのようにして顧客に輸送するのでしょうか。組み立てるときにもう一度大きな部品に分解します。そのため、最終的には 6 機の飛行機が必要になります。 機械は非常に重いので、機械がその場所に到着したら、もう一度組み立てて、調整を行って、パフォーマンスがここで行ったものと同じであることを示す必要があります。すごい、それは大規模な作業です、そうですね、かなりの挑戦です 楽しんでいただければ幸いです – はい、とても感謝しています。
(05:16) クリーンルーム、とても良いです、また会えることを願っています、初めまして、バイバイ、こんにちは、これはお土産として取っておきます

ソーシャルメディアでASMLをフォローする
Facebook:https://www.facebook.com/asml/
Twitter:https://twitter.com/ASMLcompany
Linkedin:https://www.linkedin.com/company/asml

または、当社のWebサイトにアクセスしてください:http://www.asml.com

関連記事一覧