走査型電子顕微鏡（SEM-EDX）　IS14【工業総合研究所】

走査型電子顕微鏡(SEM)は、電子線を使って物体の表面形状を観察できる装置です。付属するエネルギー分散型X線分析装置（EDX）と連動させると、観察している場所の成分も知ることができます。
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