リンク機構によるテーブルリフター【リフト/供給/排出/回転による直動機構/リンク/モータ/ベアリング/リニアブッシュ/からくり】

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動作
　リフターが下がった位置で前工程からロボットアームでワークを供給する
　リフターが上昇しアライメントして上の装置にワークを供給する

環境・操作性
　クラス100のクリーンルーム内でのガラス基板搬送

対象ワーク
　形状：ガラス基板
　サイズ：t0.5xW350xD360[mm]

動作仕様・寸法
　リフタストローク：118［mm］

必要精度・荷重
　荷重：ワーク+ベース＝35［N］

主要部品の選定根拠
　荷重35[N]を速度5[mm/s]で昇降させる為のサーボモータを選定

構造の作り込みと設計の勘所
　駆動による発塵でワークが汚れないようにモータ類をワーク搬送面より下方に配置

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