「デバイスからの放出ガス分析」

第9回　微細加工プロセス技術セミナー（2021年10月29日）
【プラットフォーム技術紹介】
講師：山口大学　栗巣普揮
デバイスの不具合発生要因などを調べるために、稼働状態のデバイスから放出されるガスを分析することを可能としたダイナミック昇温脱離ガス分析装置について、事例を含め紹介します。

関連WEBサイト
http://www.nanotech.sangaku.yamaguchi-u.ac.jp/
https://nsn.kyoto-u.ac.jp/