「マイクロアクチュエータの基礎と活用」

第10回 微細加工プロセス技術セミナー(2021年11月24日)
【チュートリアル】
講師:豊田工業大学 佐々木 実
代表的マイクロアクチュエータについて、デザインのポイントやプロセスとの兼ね合いを解説します。2013年に実施したMEMS実践セミナーと比べて、異方性サスペンション、アクチュエータのセンサ活用を紹介します。物理的に動くアクチュエータを使うと、材料の特性変化などよりも高コントラストな変化を得やすい特徴が得られます。

関連WEBサイト
http://www.toyota-ti.ac.jp/kenkyu/nanoplatform/index.html
https://nsn.kyoto-u.ac.jp/

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