原子層堆積(ALD)装置による薄膜形成実習

2021年度 微細加工技術 実習コースの紹介動画です

【アドバンス実習】(No.6)
「原子層堆積(ALD)装置による薄膜形成実習」
ALD装置によるアルミナあるいはチタニアの成膜について、プロセス条件設定や装置の取り扱いについての実習を行います。実習はユーザーが希望する基板・材料(粉末も可)への成膜を行います。
 日程:2日コース(日程は受講者と調整)
 定員:2名
 参加費:44,000円
 実施場所:北海道大学 創成研究棟(札幌市)

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実習コースに参加ご希望の方は、下記WEBサイトよりお申し込みください
申込期限:8月27日
https://nsn.kyoto-u.ac.jp/p/seminar2021-2-2.html

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