マスクレス露光によるフォトリソグラフィー

2021年度 微細加工技術 実習コースの紹介動画です

【基礎的な微細加工プロセス実習(無料)】(No.3)
「マスクレス露光によるフォトリソグラフィー」
マスクレス露光装置を用いて任意パターンを露光しパターン形成を行うとともに,マーク検出による重ね合せ露光を行います。
日程:1日コース(日程は希望者と調整)
定員:3名
実施場所:名古屋大学 東山キャンパス ベンチャービジネスラボラトリー(名古屋市)

他の実習コースなど全体の概要はこちらのWEBサイトからご確認ください
https://nsn.kyoto-u.ac.jp/topic/ev-r03-1.html

実習コースに参加ご希望の方は、下記WEBサイトよりお申し込みください
申込期限:8月27日
https://nsn.kyoto-u.ac.jp/p/seminar2021-2-2.html

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