MEMS-FPI分光センサ（浜松フォトニクス）

MEMS-FPI分光センサは、印加電圧により透過波長を可変できる
MEMS-FPI (Fabry-Perot Interferometer: ファブリペロー干渉計)チューナブルフィルタと
InGaAs PINフォトダイオードを1パッケージに収めた超小型センサです。

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Inquiry:
(English) https://www.hamamatsu.com/jp/en/product/optical-sensors/spectrum-sensor/mems-fpi-spectrum-sensor/index.html

(Japanese) https://www.hamamatsu.com/jp/ja/product/optical-sensors/spectrum-sensor/mems-fpi-spectrum-sensor/index.html