MEMS-FPI分光センサ(浜松フォトニクス)

MEMS-FPI分光センサは、印加電圧により透過波長を可変できる
MEMS-FPI (Fabry-Perot Interferometer: ファブリペロー干渉計)チューナブルフィルタと
InGaAs PINフォトダイオードを1パッケージに収めた超小型センサです。

 

【書き起こし】(2) MEMS-FPI分光センサ/製品紹介

(00:01) [音楽] 浜松ホトニクスは羽振りペロー干渉計の原理と mems 技術を応用した mems fpi チューナブルフィルターを小型メタルパッケージに内蔵した mems fti 分校センサーを開発し製品化しました [音楽] パッケージ内部は mems if pi チューナブルフィルターと受光素子を スペーサーを介して上下に積み重ねた構造となっています mems fpi チューナブルフィルターと炭素しの受光素子のシンプルな部品構成 であるため超小型化が実現されています この分校センサーのコアとなるのが mems fpi チューナブルフィルターです
(01:06) ファブリペルを干渉計の原理を応用した チューナブルフィルターによって感度波長範囲において10日波長を任意に変えること ができます 当社の mems 技術を応用して作成されわずか2.2ミリ角という超小型サイズを 実現しています [音楽] これが mems hti チューナブルフィルターの断面図です mems fpi チューナブルフィルターは mems 技術を用いて形成した波長 と同程度のレアギャップを介して 跳馬ミラーとカブミラーを対抗させています このミラーの間に電圧をかけると静電引力によってエアギャップが変化します mems fpi 鈍行センサーにはバンドパスフィルターが内蔵されています mems fpi チューナブルフィルターの感度波長範囲の波長の光だけがバンド
(02:15) パスフィルターを投下して mems api チューナブルフィルターに入社します mems fpi チューナブルフィルター中央部に入射した光はエアギャップによっ て鑑賞しエアギャップに応じた波長の光だけが透過します 電圧を上げていくとレアギャップが狭くなりより短い波長の光が透過します その反対に電圧を下げるとエアギャップは広がる方向に戻るため長い波長の光が透過 することになります このように電圧のコントロールにより フィルターの10日波長を任意に選択することができます mems fpi 分校センサーは光源と合わせて使用し 急行測定などの分光分析に応用できます [音楽] mems fpi 分校センサーはない子の mems fpi
(03:24) チューナブルフィルターや受光素子を変えることにより 様々な波状に対応することができます [音楽] 現在当社では1.35から 1.65ミクロン 1.55から1.85ミクロン 1.75から2.15ミクロンの3種類の感度波長範囲のセンサーを用意しています [音楽]


Inquiry:
(English) https://www.hamamatsu.com/jp/en/product/optical-sensors/spectrum-sensor/mems-fpi-spectrum-sensor/index.html

(Japanese) https://www.hamamatsu.com/jp/ja/product/optical-sensors/spectrum-sensor/mems-fpi-spectrum-sensor/index.html

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