「電子線描画装置を利用した金属ナノ構造作製技術」

第9回　微細加工プロセス技術セミナー（2021年10月29日）
【プラットフォーム技術紹介】
講師：北海道大学　松尾保孝
電子線描画装置を用いたフォトニック・プラズモニックデバイス作製のための基礎技術の説明と、新しい技術導入によるデバイス作製の効率化・高機能化技術について紹介します。

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https://nsn.kyoto-u.ac.jp/