おばちゃんでも理解できる製造工程（シリコンウエハー〜半導体）を、図解しながら解説します！
【書き起こし】『誰でも』理解できる半導体製造工程！ 半導体の製造工程をめっちゃ分かりやすく解説。文系もかかってこい！ウエハー〜半導体チップ
(00:00) ha [音楽] を 日本の皆さんこんにちはそしてエチオピアの皆さんこんにちは ものづくり太郎チャンネルの物づくりーたろうでございます 本日は前回に引き続き販売の製造方法を解説していきたいとおもいます なんかわかんないですけどエチオピアから見てくれてる人がいいですね 脳が解析すると動画のなお客さん見てるといって一 hp アンテナ エチオピアの人 dqn の俺なんですね 話を戻しまして前回ですねあの上からの製造方法を解説させていただいたんですけど 前回に続いてその上版を半導体にしていく工程を解説していきます これはれたんですが半導体の製造工程わかりにくすぎ問題というものがありまして 何かというとハンド手に馴染みのない方は ます よくわかんないみたいなでしかもネット上ですね動画でとかでも説明してる人っていう のはやっぱり半導体にかかりある人とか その力やの方が多いんで文系の方でまぁ理系の方文系の方を正道をどうのこうのって
(01:09) いうよりはですねもうその知識があること前提で話すんでまあまあ皿の文系の人がよく わかんないと pa でも理系でもかけませんオバサンでも理解できると多くはつくりましたあーー ヌー増方法 本当に行く悪 scars しますもしわからなければまあ僕の説明が悪いのかあぁ ぬーんだければですね 何回か見ていただければだいたい使わないと思うんでみなさんここね バカにさんですけどそれではかなきゃもう僕が割れた それかも極端で貼っていう ことになりますのでご了承いただきたいと思います はいは が本日はですね先ほどお伝えしたようにこのウエハーから半導体ができるまでを解説さ せていただきます まあここからこれが反対なんですけどどういうふうに半値どうどうなっとんねんって いう意味わからんだ ここを開始するとでウエハーの冷蔵庫では魚をされたんですけど別動画で解説してます ので こっからも知りたいということであればそっちから見てください そうするともう全部わかりますんではい半導体ってそもそも何ですかねこれもねみ
(02:18) なさい 別の下1白せずいいですよねまああの時やっぱりみたいな種類と っていうのもあのそちらの動画他の方にであのつけておきますのでその url から 確認していただきたいと思います 犯罪ですねまず感覚的にはわかっていただきたいと思いまして こういう風呂暮らしまあ皆さんが呼ぶ使っている pc とか ノートでもディスクトップでもサーバでもなんでもいいですね色でもいいですそういっ た電子機器を開けると もちろんこういった基盤があっていますねそこに まあ ic いいとかですねチップがすごいいっぱい実装されているんですけどその ic のこと実は半導体と言ってます こういったものですねこれをさらに開けるとこういうふうにワイヤーボンディングされ てまして この真ん中のところに半導体チップですね お待ち茶色が乗っているとこれってのは実はこのウエハーから切り出されていると なので正反対の原材料というのは上派ですよと 本日開始するのはこっちじゃなくてじゃあウエハーからこのハンドル台になっていく までの工程を解説しますタン高いですね他にも色んな形がありまして
(03:23) 例えばこういった形例えばこういった形 例えばこういった形でこういったまあ ic チップ全てにですね このハードたチップがまあ乗せられると 追う理解いただけると阿蘇なんだなということで全体像もより分かりやすいかと思い ます じゃあ本題に入ってきますが半導体は製造工程 5 に分けて解説をさせていただきたいと思いますまずは を飛ばすことは続いて半導体の戦争捕虜の全体ですね 全体の大まかな流れを数させていますこれを3分割させていただきましてまぁ上墓購入 から現像までもう一つがエッチング から h するわけじゃですねエッチングっていうパップ あのご了承くださいあっ エッチングから検査までです最後に 大臣から検査まあここに来るとも完成ということなので 本日すべて見立てていただければご理解いただけるようなよなっています じゃあフォトマスクの生成ということでほ飛ばすクって何かっていうと だぞにするのですねこんな奴ですねはいこんなやつです じゃあ言いってなんですがこれはもうね
(04:29) この海を反映すると違うんですけどみなさんが 資生堂仕事がですねイメージ者数より僕は伝えてるんですけど 写真法だと同じなんですね写真ってどういう仕組みになっているかと言うとこう言って 社会がありますよね それをレンズを通してカメラのフィルムに焼き付けると そのフィルムを取り出してその焼き付けた写真をさらに光を当ててかミニレースつける そうすると出来上がるとこういった根拠は実は半導体製造にも活用してるということ ですねありがとうた分だけ前田家つくとまぁここ重要ですってことですね上への や着付け方法なんですけどまぁこれはレンズ使ってないんですけど実は レンズを断面を重ねてですねこういったフォトマスクに光分けてそれで大きいので レンズ 小さくしかですね小さくして言ってこのシリコンウエハーにどんどん一個一個やって つけていくとそういう方 とっております それでは半導体の製造プロの全体像を解説させていただきます まずウエハー購入があってですねその次 扇情性膜天井をまた洗浄しますで観光在特と で6校があって現像します続いてまだあるんですねエッチング
(05:39) 日本中 new ブーストパクリ大幕 k 税検査します さらにあって次大丈夫ですね寝台ボンディングワイヤボンディング でモールドって検査と僕のステップを踏んでやっと半導体が完成なるということです まずはこの緑の枠のウエア交流から現像までを解説させていただきたいと思います じゃあウエハー購入から現像の幸 で解説ということでまずまぁどこでもいいんですけど上原購入してるとこの上がですね モノタロウとかでもうかいますねただまぁあの大量に買うと思うんですけどまぁ対応に メーカーからシールドそれをこのようにザブーンと洗浄します その後酸化皮膜生成ということで絶縁の役割をする3回今合成するんですね どういうふうに生成するかというとこんな感じで高温の酸素当てるんですねこの スコーン酸素を長時間当てることで実は酸化皮膜というものが生成されます 超幸運てどの ないかというと800度以上から1100度ぐらいのコーン
(06:43) 実は数時間にわたって当て続けるんですねその他の方式としてはまあスパッター ベストカーマーシーブジーっていう星があります cvd 失礼しました横から9時より分かりやすいのでこういったウェアがありますよねそこに 酸化皮膜をこのように作るという ですでその後また汚れを落とします え続いて露光剤ということでこういったですね あの焼き物とかまずようなろくろみたいなこの例示していただくとよりわかりやすいと 思うんですけど ここに先ほど選択幕生成した上刃を申します そこに館講座よこのようにですねただしていきますね 是松と遠心力でいい次ですね 広がっている 横から見るとこんな感じで感光剤実はこれがフォトレジストなんですね 横尾町に住んでよくわかんないですけど感光剤とカットですねあー光に反応するんだ 感じちゃうんだっていうね 良くわかると思います 続いてまあこの館講座としたものに関して 焼付と現像を行う六甲ですねで先ほどを見せしたこのような
(07:49) 露光装置を使います ここから持って来ましたと言っ そこに対してこのフォトマスクですね このフォトマスクっていうのを薄くなってると思うんですけど ここだけ光が統一列車の方に光がこれより下に通ってくるとこがまあ反応すると感じ ちゃう いうことですね 薬品を使って洗い流すとこの酸化皮膜がブースすると横から見ると もっと分かりやすいんですけどこんな感じでまあこのように反応します その後まあ薬用で溶かすとこれが現像になっているということなんですね で実はこの6大掃除ですね今なぜ も試験ですけど別段世界のしたかいもう 製造装置と言われてましてちょっと話は脱線するんですけど どこを装置のお値段ですね ポルシェがありますねものに例えると分かりやすいと思います 融氏1台分じゃないですよポルシェなんと300十分ですよ じゃあ300台以上ということでイラガイト
(08:55) もう僕だねトラックの運転者のは絶対露光装置だけは運びたくないと思います ということでめちゃくちゃ高いですね んあっ で続いてですね上原購入から現像が終了しましたので まあエッチングから検査という流れに入っていきます 先ほどですねこのように現像した上ががあると思います それをエッチングということで何かをするかというとこのように今分かりました ちょっと問題ありますね 行く末を使ってですねこの酸化皮膜を溶かすんですねちょっと色 分かり難いですけど 薄い青色ネズミのっていうかねになったと思います 横から見ると分かると3回暇高をが薬品でとかそうでマリューさんとかで ふふっさんまた削ったりするみたいなんですけどまぁこのように バー薬品で溶かしとこのようにまあウエハーの基礎のところが露出するわけですよ さーん49ということで議論収入って何 c リボンはその も電気搭載ですねなんでイオンを注入してあげて 電気特性を与えないといけないとこれをドーピング
(10:04) 大佐選手がドーピングで悪いものなんですけどまぁその2本柱にすることをどうパンと かそういったふうにようです イオン注入することによってこの上が露出しているところだけこのように電気特性を 帯びると なので ここにまあ流す回路だったり貯める介護を作るということでこれが元気か色の実は基礎 になっているですね はいこれ大丈夫ですね もうわからないところがあれば見直していただきたいと思います ここの後に何をするかというと まあこの観光全剥離ということでレズフィストになんですけど紫の館講座様子 に光に反応するものっていうのは半導体にとって不必要なものなんですね必要ないもの なのでこれはそぎ落とさないといけないということで こんな感じで薬品でジャブジャブありますこんな雑じゃないんですけど アラートですねこのようにレジストが剥離し横から見てもわかるように こんな感じで美術とが なくなりますとこの後マーサラーでございますので
(11:09) まあダメージ受けちゃうので photo 幕で 形成していくとまぁ持ってあげるってことですね甘くて でこれはあポリイミドというようなまあ薬品が主流だと思うんですけどこれを流すと こんな感じで黄色 機能まあいろいろはですねまぁ妄想しやすいように作ってるんですけどこんな感じで 保護されるっていう いう感じですね それだけだとこの 電気特性を帯びているんですけどまぁちょっとに対し信号を伝えないといけないですね なのでこの黄色であろうしたように電力を振っ差し上げると ここでやっと正検査ありけどまぁこの電気をですねぶっさしてちゃんとその あの思い通りの信号が出ているかみたいなことをまあ今一重人がずれ乗ってるんです けどプローブというこれも 装置でやりますしたがやれないもうめちゃめちゃ細いんでブログで検索を 検査をしていくはいということで8 とここにかしね 上版今夜からエッチング検査と続いて 大臣から検索語で第二ング第ポインティング
(12:14) ワイヤボンディングモールにモールド検査 ね プレイ人から検査の工程介することで先ほど このようにここ幕をつけたものがありますこれを大臣区ということで大丈夫何かという と切り分けるってことですね実はこういうふうには 図でわかりやすいようにしてるんでまあ円に対してですね 3本の回路を変えたんですけど本来は ブービーですねなんかも 回路がティルそんなにメジャーとよりわかりやすいと思います もちろん帰りもこのサティスター すっ5分がここにいパティスター すぐ個分が実は回路形成される ているとでもうものすごいすよねものすごい細いがいるがここに描かれているという この後このピザカッターですねキルト 機産業でこうやってこれ 徐々にさあの装置でやっていそのうちで一気にまあカッティングしてるんですね あ こういうふうに線が入りますとカットできると カットした後何するかというとダイボンディングということでこれだけだと使うなら
(13:21) ないので電気が通るようにですね台に置いてあげるということですね この青い部分をこんな感じの台があったとして 乗せるとこれだけだと電気機械を 特性をですね外に伝えることができないのは繋がってないのでそれを繋げるのが ワイヤーボンディングという作業になるんですね こういう風に見えたかな 線が廃線されるとようです先ほど電極ぶっ刺したと思うけどそれから戦を引っ張って あげるとこれこれだとやっぱり 衝撃とが弱いんで保護してあげないといけないということでついてモールディングと いうことでこのようにモールド仕上げるとはいほぼ これで完成1かですもう根性体で皆さんがよく見たことがあるような こういう ich とができていると ようですねそのあと忘れちゃいけないのは再度検査をして やっとハンドタイガー 関西版融合ですね いかがでしたでしょうか半導体真上半から半導体の行程でしたけど
(14:29) ご理解いただけたんじゃないかなと思いますということで名作の半導体が完成しました ということです の皆さまお疲れさまでございました はい 以上がですねあの半導体の製造工程でございました で次回は 半導体制度装置メーカーですね 実はこの半導体製造装置っていうのは日本めちゃくちゃ違いですね 反応大和ですね昔は超強かったんですけど彼がメーカーに実はもう 半導体そのもののシェアは取れてるんですけど半導体の早朝もうめちゃくちゃ 実は強いということで撮っ工程で泥装置 どのメーカーが強かそれを二回で解説していきたいとおもいます はいもしくはちょっと半導体結構やりこんだので他のものほぼ あの音を急いしたいと思いますということで半導体制度ですね以上となります もし何か得るものがあったとかですねこういう行程だったんだという事で一つでも学び になった方はぜひインをしていただきたいと思います早めになります でも
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【参考ページ】SCREEN
https://www.screen.co.jp/spe/
●ウエハーの製造工程
●半導体とは？種類や基礎を解説
https://www.youtube.com/watch?v=E6I1L9VvFEo
■ものづくり太郎チャンネル ものづくり太郎のプロフィール
1980年代生まれ。ものづくりに関連することが好きである。また、製造業に関わる仕事に従事。
日本には、製造業に関わる人口が非常に多いが、youtubeの投稿に製造業関連の動画が少ないことに気がつき、「これでは日本が誇る製造業が浮かばれないと」自身でも製造業（ものづくり）に関わる色々な情報を提供しようと決心。
