【書き起こし】プラズマ表面処理および低誘電フィルムへのスパッタリング加工について河村産業株式会社 岡誠吾 氏
(00:11) それでは始めさせていただきますプラズマ表面処理及び軽減フィルムの スパッタリング書こうということでか村産業他より部紹介を差し上げます 20分ちょっとの時間になります下ああお付き合いいただければ幸いです よろしくお願い致します はい方自己紹介ですけれども私川村産業株式会社 技術おんぶ研究所に所属しております プラズマ表面処理スパッタ成膜処理 樹脂のコーティングポリイミド舞う10号やコートに携わっております a 10年以上ですねえ特殊用途の回路基板材料ステンレス箔 ポリー3-4の積層体に関わってきております こちら川村産業のホームページになります 神原産業では様々な発表加工を受託しております 弊社ホームページんでお探しの過去を確認いただければと思います 今回のご紹介内容うですけれども3点ございます
(01:18) 1点目がプラズマ表面処理2点目がスパッタ成膜処理 3点目が英雄伝フィルムへの適用となります まずプラズマ表面処理についてご説明を受けします こちらの処理多くは接着性の向上を目的とする表面処理になります 例えばですねフッ素系フィルムは水を弾いて剛性もあるが接着性が良くないという親お 悩みがあります それに対して弊社ではプラズマ表面処理を行うことで接着性向上といったところをご 提案いたします プラズマ表面処理とはどんなことかというご説明になりますけれども プラズマ領域を装置内に作成し処理したい機材にプラズマをさらすことで 基材表面の表面改質を行う処理になります 表面改質とは基材表面の汚れを除去したり 基材表面に2月号種の作成を行ったり か書を付与したりする処理になります
(02:24) イメージ図でもう一度ご説明いたします 電極に高周波を印加します 全曲間にプラズマリョーイケが発生します 処理したい機材をこのプラズマ領域の中を通すことによって表面に歌舞伎を付けたり することができます ビデオでへちょっと処理の効果の例を一例をご説明いたします こちら tfa のフィルムに油性マジックをつけて拭き取ったのです まあ細けーフィルムなぁでいう聖魔宿が取れますこちら処理品です 処理品に同じようにショット牛やっても簡単に油性マジックは取ることができません このようにブラフマ表明処理をすることによっていう聖魔ジェットの信用性が上がり 油性マジックが簡単に定着できたと冬に定着できたというような処理の例になります そもそもプラズマ表面処理とはどういったものかといったところですけれども 北伊那市がイオンと電子に電離した状態のことを言います
(03:31) こちらは中制限しですこちらに外部からエネルギーを加えます そうすると最外殻の電子が飛び出します そうすることによって中制限しが 電子と異様に原理した状態になります これをある領域に咲くたくさん作成します この秒いき全体で見るとマクロ的には中世の状態のことをプラズマ状態といいます ここでプラズマの方 d 状態にちょっと見ていただきます 宇治ベーカリーだよがプラズマ本当になります 実際はバス周氏をするがステーションによって発行の色があってきます はいここではプラズマ処理年の科学的な変化について説明します 実際処理した麺の表面がどのようになっているかと言ったところ xps 分析した結果となります 分析したフィルムは ekp になりますエチレンとパークロードエチレンの共重合剤
(04:40) です こちらの efa の構造を示しておりますけれども c c 欠乏カーボンカーボン 結合と cf 結合カーボンフッ素の結合があります x ペース分析を行うとこの cc 結合と cf 結合の3つの山 出てきます こちらはプラズマ表明処理スタメンどうなるかといいますと まず集約結合の桜ピークが減ります その代わり好む処理にはなかったところに cooco 二重結合のような直性をもった ピークが新たに現れます プラズマ処理面は cf 結合印象4周をしよう二重結合のような曲性の高い結合が 生成されています 先ほどマジックの例もこのような効果によって発言したものになります ここではプラスで嘉村産後のプラズマ処理の特徴についてご説明を致します 我々のプラズマ処理位の特徴は 真空下でのローグトゥーロールの面族プラズマ処理になります
(05:48) 装置のイメージ図で処理のフローをご説明いたします こちらが旬空ちゃんバーになりますまず真空ポンプで チャンバー内を廃棄しますそして高真空にもできます その後ガスを導入します チャンバー内を 処理したいガスである一定の圧力までもできますコントロールします その後高周波電源で電極に隣家しますと全曲の直下にプラズマが発生します で機材を搬送することによって原則的にロールツーロールで処理をすることができます ここでもう一つの特徴としまして 様々な bash で処理が可能といったところはもう一つの大きな特徴となります 心食中なので放電がしやすいという特徴があるんですけれどもこのガッシュ様々なガス をピンポイントで使うことができます ガッシュを変更し多彩なプラズマの初期の効果の米を次のページでご説明いたしたいと 思います
(06:56) こちらが接着性の潰瘍例ということで機材は編成 pf へ こちらもフッ素系のフィルムになりますこのように息さんにバルキーの級を持ったポリ テトラフルオロエチレンの 五臓になります こちらの表がそしてと接着力の関係ということで編成 tf 8エポキシ接着剤の接着 力 編成 df 8英雄伝接着材の接着 編成 pf へとスパッター金属の接着力をそれぞれシュック示したものすっっ すいません mc m 処理の場合は え 木主接着剤って英雄伝接着剤と思う 0.1キロと ほとんど接着力が発言しません スパッタ継続に関しては0.1キロ以下ということでほとんど接着ができません それに対してへブログの処理こちらでは がすうさん3 a b c の3種類を試しておりますけれども エポキシ接着剤に関しましてはガッシュ b と c で1キロと強固に接着します
(08:06) 月集英は0.4 k まあ効果はあるんですけれども dc ほどではないという結果です っていうで接着剤に関しましてはエポキシではあまり効果が得られなかったガス周平が 1万 接着力が出て15 こま b と c もセレン10時た接着力を得られます 第一スパッタ金属に関しましては合衆 a はむしろあまり良くないん ガッシュ日が最も良いという結果が得られております ん このように同じ機材に対し妻します対しましても接着する相手によって適したラッシュ が異なってきます 先ほど申し上げました特徴でありますが シンクプラズマ処理ではガッシュの変更はピンポイントで容易に可能です こういった特徴を生かした遊びがすることができます はいここまでプラズマ表面処理についてご説明をさせていただきました 実際 a ご相談いただく時の健闘のフローなんですけれども
(09:11) 会議したりいただける範囲でですねその目的だったり 機材集接着剤州と試着ザク柄杓体臭 このような情報をいただきましてまずはカット調子カットシートで a 条件不利を 行います この際多くの場合はが そして振りをまずを行うことが多いです ここで条件を出しまして最終的による3期で処理を行います 初回のご依頼へほしいとまではも正体を致します プラズマ処理を試してみたい方とりあえず触ってみたい言い方もウェルカムです お気軽にお問い合わせ頂ければと思います 次に22点ねスパッタ成膜処理のご説明になります こちら禁制我々のスパッタ成膜は金属悪魔この成膜を目的とする処理になります ポリイミドフィルムに薄い道の草をつけたいねこういったご要望に対して スパた線画を行うことで薄い同窓の形成が可能といったようなご提案になります 我々のスパッターでは金属悪魔クノス形成が可能です
(10:19) 標準厚みは10nm から300nm 10nm といいますのは0点00001右と非常に薄い膜になります 機材氏はフィルムや金属開く こちらもロールツーロールで連続性膜が可能です こちらの写真はペットフィルムにエイドをスパッタしたあられになります 千馬プレイのほかノール線マクベイとしましては20もゴミクロマツ3のポリイミド フィルム上に にクロムと抗菌17m 同100な6メートルを連続戦略したり 例2では30 micro 厚みの笹浮上に同300ナノメートルを成膜したいとこう いったことができます こちらがスパッと装置の外観写真がありますねこちらが王殿のイメージ図です 装置のイメージ図ですパッドの成膜着方について簡単にご説明いたします こちらもやはり新宮ちゃんはになります まず真空ポンプでチャンバー内を行進部に配置します
(11:25) その後オーカスを導入します ターゲットに電圧を印加すると誰と直上にプラズマが発生したします この+まあ 先ほど言いましたとおりイオンと電子2分天理した状態ですけれども スパッターの多くではある本を使用しますつまりこのプラズマ料金にはアルゴンプラス イオンが多く存在します ターゲットの-2退任しておりますので +の電荷を持ったイヨンはターゲットに衝突してきます ここである本読んからターゲットに運動エネルギーが伝わり ターゲットからターゲットの元素が飛び出してきます これが繰り返されることによって基材上に薄い金属膜が形成されます 我々こういうターゲットの種類はどうにクロム合金 クロムアルミと思っております またシンクちゃま内にターゲット複数のターゲットを配しておりますので異なる ターゲット金属手の連続性膜が可能です
(12:34) スパッタ成膜処理の健闘のフローですけれども まず開示していただける範囲で金属臭 狭くしたい金属主山ま9月に兆しとをを開示して頂きます もし弊社に保有ターゲットはない場合はターゲット手配をさせて頂き 量産機で処理を致します カットシートの場合はロールに貼り付け成膜を行います このような中でとなります 3点目低いう年フィルム a の適用ということでこちらをファイル ge 6 g 向けの高周波用基板用等 交流しておりますん 首都圏フイルムに胴体を形成したい それに対しましてプラズマ表面処理を行ったフィルムに スパッターメッキをすることで胴体を形成可能というご提案となります 新たな移動通信システム5 gn ポイントもない信号の高周波化が進み 回路基板では伝送損失を抑制する手法が必須となっております
(13:41) 伝送損失とは放射信号の一部が熱になって損失する現象です 伝送損失を抑制する手段の一つとして回路基板に使用する絶縁フィルムの低誘電化が 検討されております 従来買い時版にはポリイミドフィルムが絶縁フィルムとして使用されておりました しかしながら校舎がに伴い in ポリイミドゲームが使用できない状況となっており ます 現状では高周波回路基板にはこのポリイミド変成した変成ポリイミド mpi あるいは暦書ポリエステル lcp が使用されていると大きします こちら各種フィルムの誘電特性といったところを示しております ポリイミドフィルム lcp が1段目2段目です ポリイミドフィルムで言いますとヒールでんず単品 ju 伝説化で00ながー誘電正接とは誘電体内での連携エネルギー損失の度合いを 表す浮きです この誘電正接が小さいほうが誘電特性がいいと言う
(14:47) いう形となっておりますん lct がああいうでは政雪麗店002 トリエてるエーテルケトンが0件弦03 ポリフェニレンサルファイドが0点002編成 adfa がー 霊園001ポリスチレン神女たくチックポリスチレン が0点001今 祝ロール品ポリマーが0点00126 ptfe が0点0000002 と言ったところでまあ ple 最も良い誘電正接を示しております このようなあの誘電正接がいいフィルムが検討されておるんですけれども まあ一方では何接着性を示すフィルムが多いという風にお聞きしております これに対して弊社ではプラズマによる表面過失をご提案するところです ここでは atau 店フィルムの適用を検討ので事例をご紹介したいと思います 編成 pfa
(15:50) 新庄た駆逐ポリスてぃ安心 jsps スクロール品ポリマー cop フィルムにプラズマ表面処理しさらにスパッタメッキ した例をご紹介したします 作成プロセスはまずフィルムにプラズマ御名処理 その後スパッタ成膜書類 際後に電荷移動名機というグースプロセスになります 構成でんですけれどもフィルムの上にニクロムスパッタ中なの どうスパッタ107その上に限界道の駅中にミクロンといったような構成となります sap fa 道のスパッタメッキのロール歳の仕上がります こちらが sts と cop とと言ったところでへそれぞれロー具材が仕上がっております 接着力それぞれの機材の接着力の評価結果です 平成 pfa は agc 者の家に線フィルムを使用しております こちらが接着部0.
(16:53) 5 k 竹ロール品ポリマーは日本ゼオン社製のセット f 16を使用しています 接着 looper レーティングを切る sps 1出光興産者の免震 sp soc をし接着力は去っ4 k と出ており ます こちらはそれぞれ先ほどのロールを回路を加工したものですけど萌えスペースは もともとのフィルムは白いためフィルムして愛知蒸したところし良いフィルムが出てい ます 視力や非常に公平かつ高透明なああ フィルムが得られております pfm を基本的な透明のフィルムです 接着力 pfa 編成 faco ピュア0.5キロとなっておりますけれども工房 プラズマ条件をさらなる検討で接着力向上を図る予定です すみません以下でこの表でちょっと説明をされましたけれども ここでしもう1つ注目すべき点がどう年の総統デス 所点平均 rrz でへ 0.1ミクロンという非常に方平滑な導体層が得られています
(18:04) まあスパッター電解銅めっきによる平素導体ということでこちらで胴体尊師の抑制が 期待できるのだよねかなと考えられております ゲイ電源フイルムにスパッター前回豚便器 これがカイロ加工した図ですけれども非常に直線のつ直線性の高い 海部は依頼です 比較例として同額をプレスしたものというのはどうしてもことでここができると 馬鹿女機では rz 10点域やロサがああ0.1加盟店さん3君 シロップ労働博万倍はあるセットが12クロン いうことでまぁ最大一桁ぐらいすパターン駅奉納が公平かつな状態素が得られる可能性 があります こちらがせむぞうですちょうどこの部分ですねどうエッチングした真ん中だけ勤務して 編成 pfu が見えていると非常に平滑な編成という風が命 こちらが回路の断面の写真になります 現在様々なお客様にご評価しているいただいておりますけれども
(19:10) 一例として株式会社 itc さまで格好生のストリップライン回路作成検討中です 家に線をは剤として両想に道を開始した ストリップライン方ゾートっています こちらは itc 様にご提供に食べた写真ですけれどもこのような形でフッ素 フィルムをコア材に用いてストリップライン回路のアンテナ回復基板作製に成功されて おります までご説明していただきましたけれども それぞれのスパッターのソナーそれぞれの装置の使用についてご説明いたします プラズマ装置は弊社八代集しております 処理の有効ハーバーマーク1200ミリです 片面処理4面同時処理が選択可能です スパッタそっちに返しました2台いう方有しておりまして1台が1000ミリ波はもう 1台が500ミリ幅となっております また電解銅めっきこちらはロールツーロールですけれども 外部の協力会社で実施が可能です また保有の評価設備ですけれども接触かっけー
(20:16) こちらはプラズマの現場でよく使います水の接触角だったり表面中エネルギーの計測を 行います また蛍光 x 線分析装置こちらはスパッターつの評価を行います あと引張試験機等でまぁ接着ループやら機械特性の評価を行います またお客様の色さまざまなこれを東方に即した形での評価ができるように音一の設備 露光現像1んぐあるいは熱プレス設備 フィッシングネスプレスのようなものを帯びるしております 最後にちょっとご紹介になるんですけども来月7月15日16日で大阪産業創造館で 行われます機能性フィルムて2011 2021に出展させて頂きいただきます 今回ご紹介した高周波金も増える 2投目ポリイミド夫婦関係の展示を予定しております 是非ご来場の歳入は当社ブースへお立ち寄りいただければと思います ご静聴ありがとうございました
