ミニマルファブ – 産総研コンソーシアム・ファブシステム研究会
詳細は インターネット展示会 http://www.tenji.tv で！For more details please visit http://www.tenji.tv (Japanese).
【書き起こし】ミニマルファブ – 産総研コンソーシアム・ファブシステム研究会
(00:00) これが今までの300名という従来の皆さんが使っている大量生産型の方ですよ我々は 大漁閉鎖を止めるということで見ていただきたいのはこの小さなですね シリコンこれ12.5ミリという直径ですがそれで我々 1個ずつ作ってそして皆様の携帯にそのウェーハのまま 搭載するすごく簡単のシンプルなシステムですね シリコンだけじゃなくてサファイヤそれからダイヤモンドについてですね施策を植え ハーフ策をしていますから まあこの状況を出してあるんですけどマスクもうこのサイズということでもうこれです からもう小さなサイズででもできてしまうということになります これがですねミニーワールシャトルといいますがこの中にこのウェイ葉を1枚ずつ入れ てこれ宇宙船みたいな形で完全密閉になっています ですから周りがシンクだろうがなんだろうが汚くても大丈夫でこれで し装置のとこへどんどん言ってですねそれで搬送してありますので 完全密閉されてますのでクリーンルームは入りません ですからクリームというあの大きな電気のできて各て電気のかかる システムというのいらなくなってしまう
(01:06) でちょっと早朝あの見ていただけるといいんですけれどもここではですねミニマル ファブと目がファブアド従来の大きな 制度システムをちょっと養蜂展示してありますでこのへんガスト今までの大きな工場で は例えば2つの装置を並べる それだけの面積がですねだいたい まあ数メートル角ぐらいなんですがそこで我々ミニマルファブは40代 入ってしまいますその他にユーティリティーと言ってはい月処理だとか超ジュース製造 だとかって言って造物みたいのがあるんですがそれが一切ない 我々のやつはこの中にそれがそれぞれが入っているのでそういった意味ではあの 9写っている場所だけで 2の教室みたいなところでん 工場ができてしまいます いうのは一つまコンセプトですねこれがその製造装置1個ですが人間の高される小さい ですね 非常に可愛らしい形になっていますでこの装置で一つのプロセスをやりますので プロセスの数が600あればご600台並べるということになりますね でここにさっきのこのシャトルを宇宙船がこうしゅじゅステーションにくるように行動 キングしてそしてここへ置いてありますと
(02:15) てスタートすればこれでもうそのままプロセスができてボタン押す1コースだけ誰でも できます だからファンどうだが難しいてってのは難しいように作ってたからね我々はそれを 作るのは大変なんですけどユーザー様のために最も簡単にしてらータッチパネルも共通 化して 一方覚えればおばあちゃんもうどのようにボタンを押すだけで出来る てこういうシステムにしたわけですねはい で15種類20種類ぐらい今日 展示していますけれどもあのある程度主要な装置ができてきていますので半導体の中学 の リソグラフィーし推奨書には代替できるうち何 コーティング装置それから 濃厚それから 廉造 てエッチング せ方その前洗浄だいたいその辺は開発されております で一応予定では来年の4月1日から皆様に提供できるように受注を開始する っていうところまで来ております で将来はですね我々こういうやすいシステムですから気軽に使っていただいて 5000億ないと仕事できないようではなくて
(03:22) まぁ一応から合区もあればお仕事を始めていただけるという なんていうんですから技術があればこれを使ってどんどんデバイスをつくっていただい て課税製品を100個ずつ作っていただくとそれちゃんのペイするという ホーナー日本人がね得意かもしれないところ向けてのシステムを提供していくっていう のが真の目的でそのことによって日本があの グローバル中でですね大歯学の協働するんじゃなくて 後者は関係ない頭だけアイディアだけあれば出世ができますよ そういうシステムを目指しています
