2021年度 微細加工技術 実習コースの紹介動画です
【アドバンス実習】（No.8）
「Character Projection を使った電子線描画技術の実習」
電子線描画機の方式には、ポイントビーム、可変整形ビーム、Character Projection (CP) 等があります。この内の CP を用いて、構造色のパターンを作り、エッチング、SEM 観察の後、光学顕微鏡で透過光を確認します。
日程：1日コース（9時～17時半を予定：8-12月の間で受講者と調整)
定員：講習は一人一日づつ。3名まで
参加費：約6万円
実施場所：東京大学 武田スーパー・クリーン・ルーム(東京都文京区)
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申込期限：8月27日
