スピンコーターレジスト滴下装置動画(ミカサ株式会社)

膜厚を常に一定の厚み(分布)にコントロールするためには回転数、回転時間、カップ内雰囲気(溶剤雰囲気)の３つが特に重要になります。更に膜厚分布の管理を追求していくと滴下量、カップ内の形状(風切・排気・試料台の形状)、温度、湿度、基板面平行度、滴下液の温度、滴下液の濃度、滴下液の揮発性、ベーク温度、ベーク温度の分布ムラなど様々な要素を管理する事で均一な成膜が可能となります。（ミカサ　http://photolithography-rd.com/spin_coating/）