ミカサ製スピンコーターMS-B150と写真化学製膜厚計(SK-FTM-WT)を使用してスピンコートで成膜中の膜厚をリアルタイムで測定し、設定した膜で止める。
PC画面は膜厚変化(縦軸)と経過時間(横軸)を表示
基板:φ4インチ(シリコンウエハ)
レジスト:OFPR800(TOK)
膜厚:1.25μm
ご興味が有る方は、URLからお問い合わせお願い致します。
http://photolithography-rd.com/
ミカサ製スピンコーターMS-B150と写真化学製膜厚計(SK-FTM-WT)を使用してスピンコートで成膜中の膜厚をリアルタイムで測定し、設定した膜で止める。
PC画面は膜厚変化(縦軸)と経過時間(横軸)を表示
基板:φ4インチ(シリコンウエハ)
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膜厚:1.25μm
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