ミカサ製スピンコーター(Coating Monitor)

ミカサ製スピンコーターMS-B150と写真化学製膜厚計(SK-FTM-WT)を使用してスピンコートで成膜中の膜厚をリアルタイムで測定し、設定した膜で止める。

PC画面は膜厚変化(縦軸)と経過時間(横軸)を表示

基板:φ4インチ(シリコンウエハ)
レジスト:OFPR800(TOK)
膜厚:1.25μm

ご興味が有る方は、URLからお問い合わせお願い致します。
http://photolithography-rd.com/

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