超音波メタルマスク洗浄装置(クラス100のクリーンルームにも対応)

設置環境がクラス100のクリーンルームにも対応できる、次世代型・超音波メタルマスク洗浄装置です。自動車部品メーカー デンソー殿との高性能メタルマスク洗浄機の共同開発いたしました。

ますます高密度化する基板の需要に対応するため、メタルマスクも、レーザーマスク・エッチングマスク・アディティブマスクの3種類とも 高微細加工、高密度化しております。そのため 従来のシャワー洗浄を主体にした洗浄では、厳しい洗浄レベルに 対応できなくなってきていると 考えられます。

そこで、当社は、デンソー殿の協力により、新しい考え方の次世代型・超音波メタルマスク洗浄装置を開発、2016年1月より販売を 始めることにいたしました。株式会社 デンソー殿との名古屋市工業研究所でのシンポジューム共同発表内容は、ここをクリックください。⇒ http://www.blue-galaxy.co.jp/WP/wp-content/uploads/denso.pdf

優れた洗浄性能 超音波の発振状態の常時モニター機能。
メタルマスクの必要洗浄対象部分のみを 超音波振動板と超音波安定保護反射板で 挟み込み、そこへ 脱気された洗浄液を 導入します。この間約10秒。この後、当社の超音波SIRIUS-SuperMulti 25(50)KHz基本周波~275KHzの広域同時多重波発振+SWEEP機能で、ち密な強力超音波洗浄30秒。 洗浄液は 脱気されているため 無数の球状星雲型キャビティ(微小真空核群)が 発生して、洗浄します。超音波の発振状態は、自動的にモニターされ、異常があれば 警報が出ます。洗浄性能が 保障されるので、安心してお使いいただけます。超音波の状況を数値管理することが可能な、革新技術です。(特許申請済)

容易なメンテナンス。使いやすさを追求!
どんなに 洗浄性能が よくても メンテナンスが しにくいと現場は困ります。このMARS-Mms 新メタルマスク洗浄機は、使いやすさも追求した機種です。超音波洗浄後の洗浄液は、真空タンクへ急速真空吸引。約10秒。途中で、ハンダボール、ハンダ屑を回収します。フィルターの目詰まり検知機能付き。目詰まりを検知したら、サニタリーワンタッチフィルターケースを外して、ハンダ屑を回収してください。フィルターの交換は容易です。洗浄剤タンクは、最大18リットル入り。交換が必要なときは、装置前面に 引き出すことが可能です。排液、給液も 自動です。

高速吸引、高速エアーブロー・吸引ダブル乾燥
リンス洗浄機能も付けることができます。これは、オプションです。乾燥は、エアーブロー・吸引のダブル乾燥。洗浄剤の種類により最適乾燥方法を選択します。こんなことができるのも、MARS-Mms超音波メタルマスク洗浄機だけです。

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