化学蒸着（CVD） アーカイブ - ものづくり（製造業）動画検索サイト「MonoM」は、ものづくり企業、製造業、メーカー、部品加工（切削加工、金属加工、機械加工）、機械部品、産業機械等の動画検索まとめサイト https://manufacturingmovie.com/category/surfacetreatment/化学蒸着（cvd）/ ものづくり（製造業）動画検索サイト「MonoM」は、ものづくり企業、製造業、メーカー、部品加工（切削加工、金属加工、機械加工）、機械部品、産業機械等の動画検索まとめサイト Wed, 18 May 2022 05:50:51 +0000 ja hourly 1 https://wordpress.org/?v=6.9.4 「SiのCVDと薄膜利用MEMS」 https://manufacturingmovie.com/electroniccomponents/ic/%e3%83%95%e3%82%a9%e3%83%88%e3%83%aa%e3%82%bd%e3%82%b0%e3%83%a9%e3%83%95%e3%82%a3/%e3%82%b2%e3%83%bc%e3%83%88%e9%9b%bb%e6%a5%b5%e3%83%bb%e3%82%bd%e3%83%bc%e3%82%b9-%e3%83%89%e3%83%ac%e3%82%a4%e3%83%b3%e5%bd%a2%e6%88%90%ef%bc%88cvd%ef%bc%89/%e3%80%8csi%e3%81%aecvd%e3%81%a8%e8%96%84%e8%86%9c%e5%88%a9%e7%94%a8mems%e3%80%8d/ https://manufacturingmovie.com/electroniccomponents/ic/%e3%83%95%e3%82%a9%e3%83%88%e3%83%aa%e3%82%bd%e3%82%b0%e3%83%a9%e3%83%95%e3%82%a3/%e3%82%b2%e3%83%bc%e3%83%88%e9%9b%bb%e6%a5%b5%e3%83%bb%e3%82%bd%e3%83%bc%e3%82%b9-%e3%83%89%e3%83%ac%e3%82%a4%e3%83%b3%e5%bd%a2%e6%88%90%ef%bc%88cvd%ef%bc%89/%e3%80%8csi%e3%81%aecvd%e3%81%a8%e8%96%84%e8%86%9c%e5%88%a9%e7%94%a8mems%e3%80%8d/#respond Wed, 18 May 2022 05:45:58 +0000 https://manufacturingmovie.com/?p=14126 第8回　微細加工プロセス技術セミナー（2021年8月25日） 【プラットフォーム技術紹介】 講師：豊田工業大学　佐々木実 アモルファスSiをLPCVD成膜した後にアニールすると、ランダムに並んでいたSiの結晶化が進むと共にHが抜けるため、大きな引張応力が得られます。この結晶化誘起応力は、最初の膜がアモルファ...

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