エキシマレーザー加工

エキシマレーザー加工とは、高エネルギーで短パルスの紫外線レーザー光を用いた精密加工技術のことです。エキシマレーザーは、希ガス(主にアルゴン、クリプトン、キセノン)とハロゲン(主にフッ素、塩素)の混合気体を用いたガスレーザーで、電子励起により生成される励起分子を非放射遷移で解離させることで発生します。
エキシマレーザー加工は、その高いピークパワーと短いパルス幅のため、材料への熱影響を極めて少なくすることができます。そのため、薄膜や微細構造の作製、脆性材料やバイオマテリアルの加工など、従来の方法では困難だった精密加工が可能となります。切断や抜き等のアプリケーションにおいても、エキシマレーザー加工は、微細な形状や高い精度が要求される場合に優れた選択肢となります。



Skip to content