基板のアライメント機構にVLASTを使用しています。アクチュエータを4軸組み合わせる事で、コンパクトで低価格なアライメントユニットを構成できます。https://www-ea.thk.com/?q=node/1312 Tweet Share Hatena Pocket feedly RSS 金属熱処理ワンポイント講座『熱処理とは』#01/試験対策ワーク面取り装置関連記事一覧 放電加工の基礎とメカニズムについて 一分でふわっとわかるチタン(Ti)基礎講座 上下装置【転写/露光/段取り/回転による直動機構/リンク/カム/カムフォロア/ばね/... 1-5【でっぱり】投影図から等角図