ミニマルレーザ水素アニール装置

東北大学 金森義明教授・産総研・（一社）ミニマルファブ推進機構との共同開発。
水素アニール技術を基盤とした新技術を搭載した「ミニマルレーザ水素アニール装置」についてご紹介いたします。