2021年度 微細加工技術 実習コースの紹介動画です
【書き起こし】電子ビーム描画の基礎と実践
(00:01) [音楽] ん voodoo 集中コースをなだめ原子ビーム描画描画の基礎と実践ということで 筑波大学の阿部寛らが発表させていただきます で8マザーの筑波大学の微細加工プラットフォームのご説明なんですけども この電子ビーム描画装置以外のもですねあの子のような装置がサッパ 付白の大規模ではないんですけどもいろいろな装置があの揃っておりますのでぜひご 利用を検討ください 特にですねあの伝染病が装置あのこれ 今ではですねあのう あの結構マイナーな装置になってしまうして利用者があの私の研究室とあと数研究室 のみでですね あのちょっとあの描写が少ないということでぜひぜひあのこのこの期間を利用してあの 描写の方を増やしていきたいというふうに考えておりますのでどうぞよろしくお願い よろしくお願い致します であの本実習ですけども内容としてはあの電子ビーム描画装置これへ料ニックスなぁ こういう傍らこれは消したあの新しい最新鋭機わけじゃないんですけども この装置を使って最初制覇が100ナノメートル程度以下のレジストパターンを作成
(01:12) するということを考えています 主な対象どう言うか 他に参加していたかというのをまあそう現在想定している 参加者の方というのはこれからですね あの研究と開発の歩幅を広げるためにあのリンスインリストビューを の活動9型4検討しようとしている方てぃベース線リソグラフィーに限らずあのえええ ええ 二そっと微罪加工ですねその初心者の方も大歓迎ということで募集しております エアの儒教し10点受講者の方に合わせて実習内容を科す構えですか エアの受光部者の方の経験に合わせてですねあの色々とあのアースペディア機あってき たってあんまり難しいことはせずにですね今日 的なことをあの詳しくやって来た時に考えておりますそれであのまあ伝染病ガンのです ね基本手法を体験していただいてご自身の研究とか開発への活用の可否を判断して いただく際ろしていただきたいというふうに思っております 0とまず電子ゲームよベークそうして何ができるかということなんですけども
(02:18) あの大きく分けて2つあるかと思います一つはですねあの電線 電線を当てることでなんか材料が変わる成立関わるというのを調べるために まああの電子ビームを照射するそれはの材料ですねの場所に照射できるとビーム径 電流こういう感じなっておりますけれどもあの遅い使い方が一つあるかと思います エアーともう一つはですねこれがあのメジャーな使い方ですけども 電子ビーム今日描画それから現像でレジストという吠える 緩効性の薄膜の二次元バトンを作成すると8そのリストへ光学ありをマスクとして使用 する とでエッチング下地材料の15このあるいは 8蒸着トリル遠くによって蒸着した金属あるいは他の材料のナノ構造を形成するという 使い方がある いう風に考えていますこの両方に対応できる いうた体勢でやりたいと思っております 我々の day 4秒化装置ですけども先ほども質問しましたこのような装置です これはもう結構もあの旧式と言いますか8多分他の方々のあの
(03:24) ところにあるようなあのだーっ振り方という感じになります 20年くらい前の装置という感じですかね加速電圧がですねこれ あの性能の基準っていうまあ一つの基準でして50 kv かいうことで最近ではな きゃっ kv こういうものをたくさんあるんですけども あのはたこれはどんな子儒教ホールって正しいですねあの子の性能的にはですね我々と してはですね十分満足できる性能を持っているということで まあ私あの正門物理ですけど あのそういう研究を行う上ではですねまったく問題がない制度を持っているビューに 考えています それからあのご利益への特徴としてはあの最新鋭機でない分 時間短絡か安いあまり混んでない先ほど申しましたように あの金で何とか全然空いてますのであのぜひぜひ検討あの 利用していただきたいということでした a map 極端に微細なパターンでない限り十分に伝えられからあの 丁寧に対応しますのでぜひぜひ学なっ各 id を外募集中だということでございます えっあの d 4 bf 描画についてこれまではあの既に説明されておりますけれど もあのどういうプロセスかというのを説明させていただきます
(04:32) マザーの資料にレジストお得して現世を勝利そしてレジストに頭を転写するということ です えあのこれポジ型レジストと音が語り g スプレモこの 観光 をその薄膜ですけども2種類ありまして来地方の場合は厳正が当たったところが分解さ れて幻想すると底に穴ができそこの理事とが鳥の頭と彼とリズ 取り除か笹借りるということでね掛け ネガ型レジストの場合はその部分が残るということになります a その後で一致ンロリっぽくの根底があるんですけども 15する場合にはこのレジストパターン形成したノシ2 h 5行いますと visit がマスク方角になりましてりっ子と来ないところが入っチング猿削られる ということでデートレジスト熟してやるとかこういうパターンができると ああああああ 8あのエッジ部はできるということですリフト部の場合は レジストパターンを形成した後に真空蒸着を我々は会を行っています 真空蒸着を行いますとまぁのこういうふうに金属なりまあその強弱材料がつくわけです
(05:39) けども えその後でレジストを2曲する8リフト付という工程を言っ ますとこのものでレジスの上に乗ってる部分が鳥の別れてまだのパターンができる ハウスということになります 年齢と具体的にどういうことで研究あるいは意図実際どうも作っているかと言うことの 具体例をですねちょっとお話ししてみたいと思いますこれあの d 生商社の例です けども グラフェン9剤両立してこれらの電子デバイスっていうことで電気伝導を測定するん ですけどするものなんですけども エソリーダーの米製少々おな とまぁその特性の道があるかというのを調べたらいいです これあの方のサイズがですねこれ全体が700かここが 7ミクの4 micro まあ割と小さな内に場所をきっちり合わせてですね 伝世を消失することができる後であの子の部分とそうじゃない部分 曳船当たってない部分を比較しますといいですねあの 電線照射をしたことでラマンラマンスペクトルが変化するとかですね あるいはの電気伝導が変わるというようなことが観察される まあこういう警句に利用可能だということです
(06:43) あるいはのレジストを加工するという例ではレジストの微細のオートスコープはこれは のライアン ライアンスペースのパターンを描画して建造したらいいですけども あのこれ四十何メートル47メートルの集計80nm のパターンからですね どんどん小さくして言って周囲40nm パターンまでですね あのこの辺り迄で 切るということでアマーノ結構あの まああの他の高精度の掃除に引けをとらないくらいの良い特性がまあもちろん条件なし の必要なんですけども あのこういうのができるということになりますこれはですね結構あの使い方をちゃんと あの教えるとですねこれは4年生の学生があのう 数週間あのちょっと使い方御勉強してそれであの行ってすぐにできたということでして 使い方もそんなに難しくないという風に考えております やっぱの越中あり割と蒸着とリフト部ということですけども あのこういう8まあこれグラフィーの限界効果たなジェスタ公ゾーイはレモンですけど も グラフェンのですね加工して4体測定ができるような構造にしてそこに電極を 取り付ける
(07:48) あるいはですねまぁ相撲でに何か変だあの違うもの挟み込んだり ねそういうこ が可能ですあるいはあのこれ単一電子トランジスタと呼ばれるあの まああの構造なんですけどもこれあのここが0.53このぐらいですね結構小さな ビショトンネル接合というのを作ったりですけども100ナノメートルかける107 メートルぐらいのえっこの術防ができる これ斜め蒸着法という特殊な方法で 金属を蒸着するんですけどもそういうことが可能になっております 0と実写の詳細ですけどもあの日程は8受講の希望の方とへ調整したいと言うと思い ます基本的に2日間で8その座学とそれから実習を含めたいというふうに思いますが 8馬がのご経験によっては1日で終わっちゃうということもあるかと思います 店員はあの3名程度と書きましたけどもあの希望者の方する で受け入れたいというふうに思っております参加費はへこの村がこれあの デーセミオーソ種の使用時間に応じて8 参加費がかかるということになります場所は a 茨城県つくば市して 主な解消を避けるフォンしましたけれども研究開発の幅を広げるために
(08:54) これから使ってみたいという方をマコモに 対象としていますで全くの初心者の方がもちろん機 ok ということです で事前にオンラインでご希望を伺いしご経験ご希望に沿った形でカスタマイズさせて 言っていただくいただきたいと思います えっ担当教員ですけども私とそれから辞職がのともに が担当することになっておりますぜひ皆様のご参加を持ちております以上です
【アドバンス実習】（No.7）
「電子ビーム描画の基礎と実践」
これから電子ビーム描画を始めてみたい方を対象として、電子ビーム描画の基本を習得します。電子ビーム描画装置はELIONIX ELS7500EXを用います。サブミクロンのレジストパターン（電子デバイス等）を容易に形成することができます。
日程：2日コース（応相談）（日程は受講者と調整）
定員：3名
参加費：3～4万円程度
実施場所：筑波大学第三エリア 共同研究棟C 1階(茨城県つくば市)
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申込期限：8月27日
