シリコンウエハにレジスト(感光性樹脂など)を均一に塗布する半導体製造工程を模したデモンストレーションです。 ・ダイレクトドライブモータ(一芯二軸)によるシンプル構造のリンクアームロボット ・中空シャフト内を通した真空圧でウエハを吸引し,回転させるスピンモータ Tweet Share Hatena Pocket feedly RSS 歯車とラックギアの製作現場【ホブ盤・ラック盤】スピンコーター滴下・エッジバックリンス動画(MS-B300/ミカサ株式会社)関連記事一覧 M-tech東京2017 バリ取り・研磨の自動化ツール紹介【ジーベックテクノロジー】 第45回【先端技術の知識】「機械エンジニアなのに、まだモデルベース開発知らない... 【 開成工業 】ヘアライン加工について 【ピン、止め輪】機械エンジニアが知っておきたい機械要素