酸素プラズマ処理装置〔個別･･･使用例〕

https://www.youtube.com/watch?v=G1luy3IPmiY

「酸素ガスによるプラズマを発生させ、酸化処理を行える装置です。
現在は『レジストを燃やし、ガス化して剥離する』目的で多く使用しています。」