【書き起こし】電子顕微鏡基礎講座（座学）
(00:01) car じゃあねっと定刻になりましたのでえっを始めさせていただきます えーみなさんはございます 都営 本日はの電子顕微鏡基礎講座学区の方ですね担当させていただきます 電子顕微鏡成長無杉山と申しますよろしくお願い致します えっとあのこちらの講座はですねあの まぁ本来であれば元素分析とかですね a 超高分解能の観察とかそういったものも扱うべきなんでしょうけどもそこまでは ちょっと時間が足りないのでエッチもこのページをでちょっと告知してましたとおり あの天狗にまぁちょっと焦点を絞りましてその原理とかですねゾーンの解釈 それからマーマン処理 2へ伴う話とかまぁ回折パターンの解析とかまあそういったものをお話しさせて いただきたいと思います えっとまずとあの導入としてですねええ まず顕微鏡できた何がわかるのかということなんですけれども えっとまぁ顕微鏡にちょっとここに示すます通りまあいろんな種類がありまして
(01:09) でまぁ皆さんもあのいろんな顕微鏡あのを使いだと思うんですけども 8この中でえっと今日話する 透過型電子顕微鏡っていうのは分解能はあのまあもっとも高い 現存する顕微鏡の中で最も高いものなんですけれども残念ながらそれに反比例するよう に非常に敷居が高いという風な a market 炎が上がりますで得ただえっと今日その この話を聞いていただいてですねまぁちょっと使ってみようとか あの8割とできそうだなというふうな感覚を持ってえっとを書いていただけると非常に ありがたいなと思います それでえっとまぁこれはあのて6 だけではなくてあの権益を全体に a と言えることなんですけども えっと顕微鏡を用いた評価をした場合にはですねえっとそれが例えあの正しい条件で得 られたものでなかったとしてもですね何かしらの像が 出てきてしまういうふうなことがありますがこれがすごく怖いところで でえっとそうするとデータが1なる一人歩きしてしまってそのデータをもとに実験とか
(02:20) ええまあなんか生産とかそういうのの方針を決めてしまうととんでもないことになる っていうことがあります では実際私はそういうことを学ぶ をもって体験していて まあなので 越冬まあ何かしらの像が得られてしまうというところがありますので 8皆さんにはぜひですねえとこのデータの良し悪しとか あの良い悪いあのまあそれが使っていいものかどうかというのをですねまぁ判断する 確かぬ女というのをまああのつ身につけていただきたいなというふうに 思っております ねえっとまぁ顕微鏡でいったい何がを買うのかということです なんですけれども8今日は主にまあ透過型の電子顕微鏡の話をさせていただくんです けどもまぁ例えばこの電子顕微鏡ステーションにサンプルを申し込まれる方がですね いきなり でも持って来てもに持ってくるだーあの事故 自身が作ったあのサンプルで他の分析は一切何もせずに生きない点も見たいというふう に思ったらもう来られる方があのあります
(03:24) まあそれはあのまあものすごく小さいモノマーナノ粒子とかそういったのはしょうが ないと思うんですけども8実際にもてもやってしまうとその他に 他の分析何をやったらいいのという風な まあところに追い込まれてしまうことがあるのでまあ皆さんで事前に例えばエクセン 完成ておりました ラーマンさんがを撮りましたがそういうふうな えっと準備をしてですね持って来られるのがまあて6をやる上で非常に有効じゃないか なと思います またので真っ向に書いてあります通り魔膜厚が知りたいとか まあ組成分布がしれないと結晶性が知りたいとかあると思いますけれども まあその一方でえっとその選択肢としてて目がまあ適切なのかどうかというのを ちょっと考えていただいてですね まあそれでえっと まああの これからご購入ご参加の方は皆さん古賀店も使おうとされているのかもしれません けれども とても使わない実際に使わない場合でもそのテムズを見て えっとまぁよる多くの情報を引き出せるようになっていただけるといいなと思います えっとまぁ各種顕微鏡の守備範囲っていうのはまあここに示す通りでも今さら言うまで
(04:36) もないと思うんですけども 8まあ10日反田仕組みて6話まあ非常にヴァイスの高いところだけをですね になっている k 3強だというふうに思っていただければいいと思います それでえっとまぁ先ほどまあいろんな顕微鏡の紹介をさせていただいたんですけれども それぞれの顕微鏡で得られるデータというのはちょっと比較してみたいと思います ここではこの対象としてですねまち世代の半導体の まあ有効の家の有望な材料としてはまあ研究関西でもと思い えっシリコンカーバイドの上葉の上にあるキャロット血管と言われる欠陥なんですね でえっとこれはの朝鮮人参みたいな形をしているのでまぁキャロット血管と言われて いるんですけれども えっとまずレーザー顕微鏡に8共焦点微分干渉という フィルターをかました映像になります こちらはですねえっとまぁ通園方向の空間分解能はあの光学顕微鏡レベルなんです けれども 8垂直方向の凹凸の感度という意味では非常に高い感度があります まあ1位 nm 受けるような凹凸でも検出できるというふうに言われています
(05:47) なので えっとまぁこういうところに小血管が見えてるんですけれども えっとまぁこの血管っていうのは非常に微細な凹凸を伴う血管であることがわかります でこの欠陥について同じところですね今度セムであの館させて行ってきました そうするとやはり正空買って水平方向の分解能が非常に高いので まぁ色んな子微細構造があの見えてきますけれども えーとこれあの専務でもこちらの微分干渉でも54 the て方向に ばとこ筋が見えてますけれどもこれ実はウエハー表面に ap 膜を作る時にできた ゲーム 4ステップに相当していますでこの原子ステップがあの頃は本当にご縦横無尽に相当し ているあの存在しているわけですけどもこちらの微分干渉等でも実は見えている ただあの交通へいへい方向はの識別ができてないんですけどもそこが ませんもみるとまぁ非常にクリアに見える ただしえっとこちらあのセムについては凹凸があるということは分かりますけれども まああの厳密な意味でのどちらが出っ張っててどちらがへこんでいるとかですね
(06:54) それから大鳥栖がどの程度あるっていうことはわからないということになります でじゃあその凹凸に注目して今度はえーっ度 a f 原子間力顕微鏡を使っています とこちらは凹凸の分解能はまあ本当に8現存する顕微鏡の中で最高のものがあります8 0.1ナノメートルの凹凸まで検出することができます でその凹凸の えっと定量値も分かるという風な特徴がある ですのであの子の注目している血管がまあこういうふうにこう 切れ込み状になっていて非常に九州にくぼんでいると言う事なんかもあの分かり いただけると思います ただしあの afa 部をやないという方が失礼なんですけどもまぁ f が山ながら 凹凸しかわからな あのそれ以上のえっと情報は出てこないということになります 最後にえっとこの結果についてこのくぼみについて 8断面をとってへと見たものなんですけどちょっとわかりにくいんですけども この窪みの部分がここででこの窪みから牙のライブに向かってこういう黒い筋状の8
(08:00) 結果があの橋ています これはあの六方焼の結晶構造に特有のプリズム血管というふうに言われるものなんです けどもこれを拡大してみますと えっとまぁこんな感じに見えましてでこの黒い結果ぬふそれが 5 ここでずれているのがおわかりいただけると思います まあこういう風な場合は石塔の a ねあのアイルまぁ結果なんですけどもそういった ものが存在しているということがありますこいつの言質を一層分のズレというのが実は 表面にこんなにえっと九州な欠陥を まあ形成するということが からん まああのそれぞれ比べてみたらあのお分かり頂けたと思うんですけども えっとまぁこの3つは割と凹凸を見るという風な顕微鏡である一方でですね このでテーマについては内部のですねえと結晶構造まで見ることができる まあそういうふうな役割を担っているということを
(09:03) になります ではあのえっと電子顕微鏡という名前が空くですね線部とテムの比較というの次にして みたいと思いますけどもこれはあのまあ比較的新しい えっとあの半導体デバイスのトランジスタのところ-8 まあ顕微鏡写真になりますまああの評価書どこだ感じに出てくるんですけれども で同じところですねせむと テムでえっとみた a ものなんですけどもまぁ見ておめてお分かりいただけるように まあこっちの派がややぼんやりしててこちらが非常に輪郭がくっきりしている でじゃあこの違いというのは一体何が原因なんだろう いうことになりますそこでちょっとえっとて6トステムの概要についてご説明したいと 思います えっと今左側がせ棟右側でもになります セムはえーっとまあ入射電子線のまあ加速電圧がだいたいまぁ最近の1キロから15 キロ v ぐらいの加速でますで電線の端する まあその結果としてハマー電線8 o 0点01メートルって でえっとせるの場合はえっと電線を当てて表面から跳ね返ってくる反射電子とか二次
(10:13) 電子というのを使っても表面の形を見るというのが主な役割ます ですのでは上にカメラというか検出器が付いている 一方てもの場合は加速電圧がまあ80ピロが300キロぐらいの加速電圧でさらに えっと薄くしたサンプルを使って投下してくる電子を使って像を観察するということ なります 8この時あの前世の波長というのは これぐらい0点003ナノメートル以下は非常に短い電線を使うことになります でまぁ投下してくる電車を使うので下に検出器を置くということになります なのでこの2つ比較していただくとまああの同じ電子顕微鏡っていう言葉がついてます けども全然違う装置だということがわかっていただけると思います じゃあこのえっと説明を踏まえて先ほどの増室の違いについてちょっと考えてみたいと 思うんですけども えっとまず線まぞん方はあの金に4バー加速電圧 v 機ロボットで撮られてますので んあんまー電子の波長というのはだいたい14点17.4km になる
(11:22) ますでえっと反射であるのでまぁ表明の方とつ これは思いまーに事前し手間表面の凹凸を検出してから幻想市の市街 まあこれは主に反射でんして検出するんですけれどもこれがまあこの像のコントラスト の違いということになります それで87の大きな特徴としてえっとまぁ主にバルクのサンプルですね えっとまぁ観察している表面用の下に全部パーッとサンプルが存在している ってあるのでえっ入ってきた入射電子がまあサンプルの深いところまで まあ侵入したい拡散したりして2次元しを発生するた 移籍が大きくなっ それがえっとまぁ一般的に分解能の劣化につながるというふうに最近でを言われてい ます ですので8実は最近のえっとセムの分解能を上げるという風なアプローチというのは 加速電圧を下げ 加速電圧を極力下げてそれで非常に感度の高い 検出器をつけてでえっとまぁ加速電圧を下げることによって虹店主と反射電子の
(12:31) えっと発生効率が下がりますのでその発生 暗くに選手と乾小天守をなるべく効率的に巻き上げて 建設的にも持っていくそういうふうな組み合わせに打ってえっと高分解能化を図ると いう風な流れになっています で一方8テムの方は 8ません音日で10日ですのでえっ電子と 8サンプルのえっとまぁ相互作用まあ主にはまあ解説とか3段というのがこのプラスの 要因になれば でまぁ元々薄くしているサンプルではありますから えっとまぁセムのように入射電子がサンプルのな深くまで まああの拡散するといったことが抑制される 山条件になっているということになります まあそれが分解能がこの前世の波長がもともと持っている分解のを1できる要因になっ ていることになります まあですので8ひょっとすると まあこのせむぞうもこのて6で使っているサンプルと同じように薄いサンプルを作って 観察してあげたら
(13:34) a と同じぐらいの分解能が出てくる可能性があるということになります ではえっとじゃあ そのここからですねえっとそのて無象 に写っているものが何かということを順次ご説明していきたいと思うんですけどもこれ はあのちょっと事例として越冬 電卓とかですねそれから腕時計についているアモルバーシリコーンの対応電池セルの 断面天像を示したから まああの上か色んな子コントラストが映ってるんですけれどもこの段階で皆さんはこの ゾーンに一体何が映っているのかというのちょっとあの詳しく説明することが難しいと 思うんですけども とこれからの30分程度あの説明する説明を聞いていただいてですねぜひこの写真を うまく説明できる ようになっていただけたらいいなというふうに思います はいええっとじゃあ改めて てもの特徴については簡単にちょっとおさらいしたいと思うんですけども 8先ほど申し上げたようにこの 泊まっ化したサンプルを使って
(14:41) まあ内部構造透かし見る というはまでも特徴をなりますここはちょっと非常に重要なところになります 透かし見る なので得られる像というのはこの8使っているサンプルの膜厚方向全体に対する 等映像プロジェクションイメージになるということが a 続重要です それから8入射電子等を堪えない選手の相互作用検出前はる解説とかさんがあります 今日はちょっと話しませんけれども関節とか産卵以外の相互作用を利用すると元素分析 とかですね 状態分析とができるようになります それから越冬電子の関節現象を使ってこれは回折パターンですけどこれを利用して x 線回折同じように結晶構造解析をすることができます から一般的なネットゲームでは空間分解能は0.
(15:35) 1ナノメートルレベルへあの最近あの でています まあ最先端の電子けんぴを使えますと まあ最高到達分館す40ピコ nm とかですね そういうところまで現在はミールなっています まぁあのーこういうふうにちょっと頭でも説明したけどもう 所伝書を透過させるために薄膜を使うというところが まあこの東部テムのちょっと校 敷居が高くなっている所のまあ一因になっているかもしれません それでへと電子家その透過電子顕微鏡の中の穴増加での中の五航戦ずてのを簡単に えっと示しました てえっとまぁここにまあサンプルが電線が入ってくるわけですけれども あのまあレンズがまあここでは簡単のために一つだけの変えてますけど えっとこのサンプルに入って出て行った電子がえっマジあるところが実は2箇所あり ます 床の最初のところは8この電子サンプルが電子サンプル遺伝子が入って同じ角度に83 弾された電子が交わるところになります で次に交わるところはまあ全ての電子すべての際3弾された電子が等価店線と交わる
(16:44) という風なところに学びます でこの最初に魔女のところというのを交渉天面と呼んでおりまして ここにとてもの中ではまあ回折パターンが表示されます で2番目のえっと焦点面のところで 8このサンプルのえっと市とは反対側 倒立した像がえーマジつ落として へ まあ打ち出されることになっ でえっとてもの場合はこのコーション天面とへと焦点面の にそれぞれ映ったぞーというのはボタン1つで切り替えて 回折パターンと実際の像というのを得ることができる それがテーマの非常にあの優れた特長になっていると思います それでえっと通常の教科書ではですねここからいきなりゾーンの説明に行くんです けれども皆さんが ゾートっていただくときに必ず実は改札パターンを得なければいけないと回折パターン をしてその後にシボレーを入れて 像を出すという風な手続きを踏むのでここでは と回折パターンの次節
(17:49) 命を先にさせていただきます ね越冬はご存知の方も多いと思うんですけども溶かすパターンは結晶構造の振り変換に なっています でえっとこちらがとシリコンの110方向屈み込んだ時の高分解が待っても写真で えっとこちらが対応するえって電子回折パターンになります でまぁ一般にこちらをま実空間こちらを逆空間というふうに呼びます まあ古い変換どういうことかということなんですけどもまぁご存知の方も多いと思うん ですけども えっとまぁこういうふうにえっと決し原子がいるところ まあいわゆる講師デッロ減収はいるところを並みのまあ節 菟原ですねあの場面だという風に考えます でこの8並みのえっと波長 ラムダというのが講師面間隔 d に一致するという風に考えていただくと そうしますとどこのえっと波長というのを講師面感覚それから えっと並みの進行方向というのを8結晶面の並んでいる方向という風に考えてその波長
(18:58) と大浩の2つを使って a その結晶面化粧の並びというのまあ 記載できるというのがまあ古い変化があります でえっとこの時例えばこの子 えっとゾーンの中においてですね こちらのえっとこの この子しろいもあるとこの白い丸に相当するのがえっ110面に の面間隔に相当するのは底の底110の面間隔が8 あすいません でその半分になるのが220面になります この220麺の麺感覚がまあ0.1927メートルになります えっと先ほど申し上げたようにえっと まきこの会 ふう変化フーリエ変換をしたつの逆七宝し空間の中では越冬 逆行しベクトルつまりあのえっとこの 講師面のえっと個並び のえっと面倒ならんで方向ですね
(20:04) そのべっつの方向体の面の並びの巣法線方向になりますそれから8そのベクトルの長さ というのが咲くん お話したように便カークの逆数ことは前に各の逆数として捉えることにしまう なのでえっと例えばをで示した えっどう 220面のに相当するような大雪スポットというのは えっとこちらに出てくることになりまして ここは原点なんですけども原点と22税を結ぶ ねこの度面のならびに対して法線方向に向いていてさらに この度面間隔の逆数に贈答する長さを保っているのがこの回折パターンということに なります で他の面もちょっと見てみたいと思うんですけども例えば えっとこちらが811一面に相当しましてこの面間隔が 0.
(21:01) 31を舐めてたんですけども8この111 に相当する逆行しべくとはこちらになりまして この面がな鍋に対して垂直方 さらにえっとこれあのベクトルの長さっていうのが高州園感覚の逆数というふうに 申し上げたんですけどもこちらが0.19入力しながら0.131所でへと見て いただくと まあ a 短い麺感覚のほうが遠くに出ているということがおわかりいただけると思います まあこういう風にして8回折パターンと8実際の交渉並びというのが相関がとれている ということになります まあこれを分かっていただきと回折パターン全く怖くないと思うんですけれどもこう いう風にして解釈へしていただければいいと思います ねえっとじゃああの同じ回折パターンを取れるエッグ線関節と電子回折を比較してみ ますと まああのこれはた決勝のシリコーンの x 線の回折パターン こちらは武志町の電子回折パターンなりますけどもまぁ順番に11122031140 ズってますけども 田回折パターンでもまあ1位
(22:04) 獅子人2031ございますまあこういうふうに出ている でこれ5時よく塾人角度をとってますけども まあ電子あの腕に関節向こうとこちら方向 8解説2解説される角度が大きくなる方向に出ているということになります まぁいずれも同じものが見えているということがおわかりいただけると思います でえっとただ xl の場合はえっと x の波長が即 の短い長いので 8解説が起こるようにずーっとこうスキャンしていく必要があるんですけども えっと電子回折場合は電制の波長が短いのでもういっぺんにどんどこのパターンが出て くる まあそういうふうな 8メリットがあるということになります それでこの回折パターンを使って結晶星のえっとまぁ天性的な議論をすることができ ます でへと一番左は単結晶のえっとパターンなんですけどまぁこういうふうにまあ格子状の えっとスポットが判定できます でえっとた化粧場合はまあこのタン継承パターンをぐるーっと降板して
(23:10) a たものになっているわけなんですけれどもこういうリング上のパターンまあ いろんな へ向きを向いた単結晶がへまあすごくたくさん並んでいるということになるのでまぁ こういうリング上のパターン で一方こちらは微結晶の8ものなんですけども 越冬まあ x 線でも同じですけれども解説 ピークのですねえっと半値幅っていうのは結晶の大きさ分の1でえっと聞いてきます なのでえっと結晶の大きさが大きければ大きいほど アンチャーが狭い非常に九州なピークが出てくることになるんでこちらはすごい ぼんやりした a パターンなってますので月商の大きさが小さい 愛ということ なのでまぁこのえっとぼんやりしたパターンが出てきた場合は微結晶であるというふう に判断していただくことができます まああの定性定量的なちょっと評価っていうのはあのまあいろんなことをやらないとだ がなく厳密にあることは難しいんですけどもまぁこういうふうに訂正的にですねえぇ まぁ把握してザクでも非常に簡単にできるというふうな な特徴があります
(24:16) はいで続きましてえっと増のと取得についてへと話ししていきたいとおもいます でえっとこちら先ほどお話ししたようにまあ薄くしたサンプルを使って入社電線を入れ てそれでえっとまぁ で絞りを使ってですねまぁ対物死亡いわゆる絞りを使っていろんな8蔵 桜愛取り込んでいくことになりますまああのここでちょっとおナム名前だけえっと紹介 しますとこういう3種類のえっとばがあります ねえっと じゃあ具体的にどういう風になるのかということなんですけどもまぁ名シャード これはあの皆さんが一般的によく目にするえっとてむぞ まあブライトフィールドと言われるものですけれどもえーとこれは対物絞りを投下する 電線だけを通すように入れて撮った写真になります でえっとそれからこう今回のぞというのはまたあかんショート 性試験たあかんちょうどと言われますけれどもこれは えっと10日ハト後いくつかの関節あを絞りに入れてとってあげた になります
(25:21) ねえそれからアンシア増というちょっと特殊な へ 撮り方があるんですけどこれはまあある解説はのみを まあタイプ絞る中に入れて撮ったぞーなりまして 頃増ではこのえっと取り込んだ回折波をまだしている決勝だけば 明るく日かというふうな特徴があります でじゃあすこれそれぞれのですね どう役割というのはちょっとあの切羽考えていきたいと思うんですけれども 多摩ずーっと名車像を撮るときの手順についてご説明します えっと まず絞りが入ってないぞーというのはこういうふうに まあ今日にコントラストが弱い像が出てきます で越冬ってじゃあどうするかとまずは えっと青幻舎絞りという絞りを入れます皆さん必ずこれ使っていただこうと 青幻舎絞りという絞りを入れるってこういうふうにあのシェアを制限するわけですね で次に8ボタン押して diff 楽勝モードにすると
(26:29) 8回折パターンが出てきます 猫の回折パターンに対してポンドは対物絞りを入れて先ほど猛暑も話したように 名車道の場合はえっと10日葉だけを通すように田淵氷を入れます ってこの状態で今度またイメージモードに戻してあげるとコントラストがついたぞーが 出てくる いう風な流れになります まなのでえっと先ほど申し上げたように1回必ず と回折パターンを取るというところを経なければいけないということになります それから8 [音楽] この高分解能増を撮る時にどうするかということなんですけども 8まあ結構多くの方がですねえっとこの名車像を取った状態から倍率を上げていけば 高分解能が出てくるという風に思ってらっしゃる方がありましたんだと実はそうでは なくてえっと先ほどもうちょっと 説明したんですけれども今はたーーーー靴絞るの位置がこんなふうん あせませんえっとこんな分
(27:36) 10日だけを通すように入ってるんですけれども ず耐える絞りの大きさを変更しますでえっとまぁこういうふうに外側も含むように た星火を入れてあげそしてえっと倍率を上げていくとこういうふうに孝子洞が映っは出 てくるいう風にょ ます とまあそういうふうなんえっと流れを持ってそれぞれの像を取得しているということを を覚えておいていただけるといいかなと それで越冬高分解能増と回折パターンを対応なんですけどこれはの実家形相の竜杯の 部分を高分解の観察をしたものなんですけれども 例えば a こちらが左側ですね非常に綺麗な六角形の並びが見えてるんですけどもこちらに相当 する 回折パターンはこういう綺麗な六角形の厚パターンあっています って一方えっと右側については a まあ縦方向のえっと高湿度しか見えちゃう これについてはじゃあ実際に回折パターンを見てあげると女分
(28:44) この渡航先ほどお話しましたけどこの講師の並びの垂直方向に相当するの解説今年が まあられていない という風な状態になります なのでえっとこういう像を撮りたいときにはこういう回折パターンは 得られるように自分でちょっと調整をしてあげる必要があるということになります ねえと重要な事をですね結晶星の領域でも決勝の方へが一致していないと格子縞を観察 できないということになります なのでえっと名刺や増で何かコントの人が付いてるんだけども 8は倍率上げていた時に格子状が見えないからまあもパスかな 思っちゃう方なんか結構色いらっしゃるんですけど実は条件が合ってないだけでそれ だけでアモルファスというふうに判断するというのは間違っているというふうに思って ください それでねとこちらが8電験ステーションでアン所有しているえっとまぁある顕微鏡なん ですけども とまぁ外観を見るととなりまして先ほど まあ対物絞りとか制限しあ絞りとかと話しましたけれどもそういう絞りがこういう ところについていてはそれをみなさんにご主導で戦った方って入れていただくことに
(29:53) なります まぁ実際に使っていただくところはこの3つのコンデンサー絞りタイプ搾り生剣士や 仕事であとはまあいろんなボタンを使って像をとっていただくということに でえっとではあのうえーこっからがちょっとあのメインなんですけども じゃあこのてむぞに写っているコントラストはいったいどういう要因でまぁ生じている のかということになります でまぁこのても写真からですねまぁわかることっていうのは例えば先ほど3 携帯でもここの部分を例えばシリコンと sio 2の海面ところを拡大していくと こういうシリコンに交渉の並びが見えます から改札パターンを取るとまあこういったけっしょ 市長室悉曇化粧マこういったその結晶性の違いなんかが分かるということになります ただえっと最もあの使いを使いなら上の子の命シア像なのでこの名刺アドのなかに含ま れる情報というのを得まあ考えていきたいとおもいます ええっと先ほども出ましたがこちらはあのちょっと古い
(31:00) d ラムのえっと断面て6ゾーンなんですけども えっと今日来ていただいた皆さんにおまあ覚えて帰っていた人はこのスライドと次の スライドも今井だけだと思っていただいていいんですけども 8子の命市薊野コントラスト白黒のコントラストまあいろんなポロタンス見えてますが これはえーっ実は 投下してきた電線の量の差ということになります でえええの中でみただけですねこの中でこのシリコン基板とこのタングステンって書い ているところが最も 黒く表示されていますが丘のところがちょっとを白く抜けたものがあったり 白黒のコントラストが混ざってたりします でこのコントラストについて例えば えっと明るいところは電子が投下してくるようが多いところ 暗いところは電信を投下してくるとか少ないところというふうに8考えていただければ 間違いありません でところを投下してくる量が多いとか少ないというのは実は結晶性と蘇生によって a 変わりますで結晶性の観点から言いますと明るい所は
(32:07) 決勝で9アモルファスある低俗場合が多いです まあもしくは8ブラッグ条件ある解説 怒ら起こしていない状態になっているところが相当するということになる でまぁ例えばこの像の中で言ったこの sio 2て変えたところとか sina て 書いたところがまあ俺ますまあが悪い所に相当する でえっと暗いところこのシリコーンの部分ですねこの部分は8結晶星の領域になって ええまあこの中に木を暗いところがある まあそういうふうにまあ明るいところと暗いところにはこの結晶性の違いによって生じ たコントラストのが含まれるということになっ って一歩組成の観点からはえっと軽元素が明るいところがあります 重元素が暗いところになる でへまあこの sio 2と s 案を比較すると例えばこちらの方がまあ8少し 重たい幻想が入っているということでこちらの方がええ 超なことないたえっと so 2の桜の重たいですね s i n のほうが実は
(33:13) ちょっと密度が高いという風な 特徴がありますなのでえっとこの同じアモルファスの中でもコントラストが高く出てる 暗く出てるというのはその 越冬まあミスドの差とかば元素の種類の差によって生じているものが含まれる でこのえっと打て無象のコンタクトっていうのはこの結晶性と蘇生の2つが入り混じっ たゾーンになっていることになります じゃあえっと一番不思議なのこの siri 今のところが一番黒く見えているという ことになりますねここについてちょっと考えていきたいとおもいます ねえっとまぁこれももう一つ重要なスライドになりますけれども 結晶星サンプルの場合というのは a というあるそのブラック条件でいる解説が生じ ているところとえっブラック条件を満たしていない まあ解説が生じていないところと2つバリエーションが考えられます でえっとまぁ9分酪農家もいたしているところについては入社電線が入ってきてその時 に
(34:17) 解説の伝世がたくさんえっと出ることになります ねえっとそうじゃないところはまあ解説天井はまぁ今度少ししか出ない で このえっと10日電線をこの対物絞りを使ってこの関節電線を全部を遮断して取ること になります なので例えばこの部分については8入社電線の強度が例えば100あったとするとです ね 解説生がたくさん生じたので投下天井の強度というのがまあ10%ぐらいに落ちて しまっている なのでこの退部し暴動を入れてみると暗く見えるということになっ でまぁそうでないところは明るく見えるということになります これが本当にて無象のコントラストもまあ全てになります ねあまりパスのサンプルの場合はこのブラッグ条件を満たしないところとまぁほぼ同じ だと考えられますので 入社前性がそのまま抜けて出てくるということになるので マーカル僚機として見えるということになります それでえっとつまりこの決勝性能サンプルの場合についてはですねこれは非常に重要な
(35:25) ことなんですけども 電線の入射方向が変わるとポイントの底変わるということが言えますつまり a 例えば あの皆さんの中でえっとご自身のサンプルでですねそれが決勝戦なのかどうな っていうのを確認したいっていう風な目的でサンプルを持ってこられることがあるん ですけども多くの方が 倍率上げて孔子像を見てほしい島が見えたら 決勝だって判断するっていう風な8アプローチをされるんですけど実はえーっとても中 にサンプル入れて後方位を傾けてあげて本当のサッカー あったらもうその時点で決勝生です言ってい まあそういうふうに使っていただくのがとても本来の使い方ではないかなというふうに 思います で越冬たその今傾けるっていう話をしたんですけどもまぁサンプルを てもの場合は中でを傾斜させて頂いたことができます で回折パターンはもしえっと結晶面に一致してないときにはこういう風なちょっとよく わかんない方が出てくるわけですね それをご自身でこう少しずつ経営者をさせて
(36:31) a 合わせてあげると最終的にこれはシリコンない事実ですけれども綺麗に格子状の8 パターンを得ることができます でへまあ結晶構造解析のためにはこういう保証体軸入社と言われるまあきれい パターンを得る 必要があるんですけれども実は これは皆さんが二色でえっと練習していただく必要があるということでまぁここが皆 さんが て6をやれないんだ時に練習しなければいけないところに8相当します それから8名シアーズ音の回折パターンの相関関係なんですけども 例えばこれは越冬まあ結晶面一致していない あの状態で撮った名刺アゾート 越冬 回折パターン相当しますん これを実際に経営者させて i させていくとこういうふうにコントラストが変化し ます であのこれだけへと解説 あの回折波が出てきていくので名車像を取るとまぁ
(37:37) 真っ暗になるということになりますでこのアモルファスのところと決勝のところが ポイントだとか非常に まあくっきりと あっ まあこういうふうに越冬コントラストを変化させることができる つまり先ほどこっからここまでえっとを合わせるところ 練習していただく必要がありますというふうに申し上げたんですけども 回折パターン上でえっとこういう風になるようにパーせ込んでいくっていう方法もあり ますけれども イメージを見ながらなるべく真っ黒になるように 8合わせてあげたらその結果として回折パターンもあってますよという風にをことが ありますので まあそういうふうな合わせ込み方もできるということを覚えておいていただけるといい なと思います でえええ 枝先ほどご紹介したこのものパシコンたいオレんしているのただ云々て6ゾーンなん ですけどもこれからわかること もう皆さん結構こたえられるんじゃないかなと思いますけれどもまずこのアルミの電極 のところには5名あのポイントラストがあります
(38:44) つまりここはええっどうマーケッこのブラッグ反射向いたしているところを見たしない ところを入り混じった状態になっているということなので 武尚 それからえっとまぁこれはマルバシリコンと言っているので まあモールバスなんですけれども8まあ全くコントラストの内径つなコントラス6 末までこの阿部ます それからこのアモルファスの中にちょっとかなり8極めて 白く抜けているところがありましてこれはアモルファスの中でも白く抜けているので ちょっとこれあのご説明がうまくできていなかったんですけども密度が低いところに まあ相当していることに さらに最後に8電極の部分ですけれども ここが非常に暗いコントラストもなっているので まあしかも指と黒白のコント打差があるって事なので また決勝で勝つ中限数を含む領域になっているっていうことがわかる まああのこの1枚の支援からこれだけの情報を引っ張ってくるとができるようになると いうことに あります まあぜひここまであのできるようになっていただきたいなと思います それでえっとて6でまぁ何がわかるのかということで
(39:50) えーっとまぁ色々やられたいことをあの終わりだと思うんですけどもまぁ例えば幕髪と か積層構造っていうのはもちろん 得意とするところですが8まああのいろんな条件あのいろんな高生役からですね膜厚 10ミクロン以下のものがいいんじゃないか なと思います それから a まあ決勝戦については先ほどお話ししたように高回転させることによっ て関節ポイントですから安産することができますから えっと結晶性の場合はグレインサイズなんかもわかりますこれはの断面から見るだけ じゃなくてえっと上から見てあげるまあ平面観察つも非常に有効です それから結晶性の場合には結晶欠陥の有無とか分布っていうのもあの見えますし 回折パターンを使った継承構造の童貞っていうのもできます まあ x 線ではあのまぁ多少構造の場合まとめて本とだしますけども まあねちょっと前は先ほど見たように青幻舎絞りっていうのを見たいところに だけ入れて解説ポットをいることによってそれぞれの層の8結晶構造解析ができるます ちょっとこれそれぞれあのちょっとしご説明したいと思うんですけども
(40:58) 例えばこれはえーっとがリムナイトライドの中にあるマーケッしこの結果んですね 血管のが瑛太どういったものかというのもまあ調べた 0になります えあの先ほど上の種類の中でご紹介したアンシア像というものを使って解析をしてるん ですけども 実は8この これで見えている血管は10位と言われるものなんですけど定義はの2種類 主に2種類がありましてそのどちらに相当するかっていうのをテムの観察で決めること ができるとされています 例えばえっとこちらの条件ですねこの条件をですねぇーサンプルをこの瓶たとこう 縦方向に回していたものなんですけれどもそれを見ると例えばこの 一番の血管がここでは消えているということがおわかりいただけると思います でこのゾーンの条件で消えるものというのは実は波状10位といわれる 店員でこれはそのと水全く逆の同期90度逆の条件で通ってるんですけれども この条件ではこの6番に相当する血管が消えていてこちらは螺旋10位と言われるもの
(42:07) に相当するということだろうか まあこういったことまで この前の観察で行うことができます それからえっとこれはポリシー高の粒径を観察したものなんですけども この英断面で見たかなんてこうどこに粒界があるのかっていうのはさっぱりわからない なのでへとこういう場合はちょっと真上から見てみようという風にちょっと発想転換し まして 例えば a こういうところをまあ金出してですね真上から見ていっ そうするとおっとこんな感じの映像が出てきます のでまぁこういう真上から見てあげるとまぁこれでもちょっとわかりにくいですけども まぁ割と後期はだった 粒子の輪郭が見えるところもありますのでまあそういうところで粒径をちょっと判断し ていただくことができ 例えばこれを拡大していくとまああのなんかこう すごく入り組んだと構造が見えますけれども言えばこことここは鏡面対象になってる 様子なんかわかるねまあこれは一般的にそう賞といわれる
(43:12) 欠陥なんですけれどもこういった子までえっととなることができるようになります それからえっと まあ今ご紹介したのて無象なんですけれども 手間像を見て頂く上でまぁいくつか注意していただくことがあります これはあのをのにやはりえっとて6特区特有の薄膜化したサンプルを観察に用いると いうところに計する8問題になります でえええまず最初にですね薄膜化した3ください 白魔貨車サンプルの塔映像であるということ 奥行き方向に凹凸がある場合というのはそれを含んだものになりますし 膜厚よりも小さい構造体が多数存在するバーガー それが重なっちゃう場合が ね残りマーカー図が変わると同じサンプルでも見え方がまあすごく変わってしまう場合 があります それから8薄膜加工を得たサンプルを観察しているので 白魔加工によるダメージを吹くばあいつような大半です
(44:21) 白馬かができなければて6観察はできない でまぁなので有機物とかそれから水分とか待機勢分にを点滅しやすいサンプルっていう のはまあなかなか難しい それから白魔かと増でアーティファクトを生じている場合があって まあ融点が低いものとかがし全3巻応力の緩和とかそういったものが でもその中に含まれますなのでこういったことがあるよっていうことを頭に入れて て無象を見ていただく必要があります これでえっとまぁサンプリングところちょっとあのお話ししたいと思うんですけれども まああのいくつかサンプリングの手法はありますけれども最近はこの8桜花ストア イオンビーム言われる fib という装置がまあ主流になってきていますねえっと frb の構成はまぁ ちょっとあの 省力 してですねこのエヴァビュー特徴としてはですねこの a えっと観察とかコートで歩というこの3つの機能を1つの装置の中でできるということ に
(45:26) がありますでへ画像を見ながら加工位置を特定できるのでまぁあのーみたいところが 特定の火精霊機である場合なんかは非常に fib は力を発揮 します ねえと fome もあのマーデン牽制ションもこのえっと2つの えっと装置が2種類の装置があるんですけどもシングルビームといわれる まあガリウム良いだけを持つ装置とえっと加工は我流6音でやって観察はセムでやると いわれる大まあいわゆるデュアルビームと言われる装置 とありますこちらが最近ではマーシュルーになってきています まああの缶加工してそうかこうしたところ同ちゃんとうまくできてるかなあっていうの をせむで確認しながら 見えるというメリットがあります でえっとそのえっと揃え5位を使ったサンプリングの手法一つにまあマイクロ サンプリング これはした資産の登録商標なんですけども えっとまぁこういうやり方があります 見たいところにとまず8号幕をつけて
(46:33) でそれ以外のところをカリウムイオンを使ってくり抜きます ねまぁそのくりぬいた状態がこんなないかミートこういう風になってるんですけども そのくりぬいたところに8装置にあの付属採点はプローブ マイクロマニピュレーターを近づけてこのマニピュレーターとこのくりぬいたところ 接着しますで接着して接着した後ここを正 切り離してでこれをサンプルのところ大虚馬と上に 式に行くことができます でその子究明とサンプルを今度は天武を観察するためのメッシュに持って行って固定し て最終的に見たいところだけを吐くばっかするという風なプロセスで 加工をすることができます手間慣れた方であれば ここからここまでの12時間で終わることができますので非常に スループットが良い sample 6区はできるということになります それでえっとまぁこない5位を使ってまぁ見たあの 観察したサンプルの例なんですけども先ほどプロジェクションイメージだということを
(47:38) お話ししたわけなんですけれどもこれはあの 例えばこういう熱い散布の中にえっとこういう小さい構造体があってそれを まあ透かし絵で見るとこういうふうに全部重なってみ いるわけです 残念ながら8この奥行き方向にどういう位置関係にあるかっていうのは通常のても観察 てはわからないということ これが非常にちょっと後ても残念なところではあります 具体的に例えばこれはあの皆さんのスマホの中に入っているフラッシュメモリ なんですけども断面から見るとまあこういう風な 構造が見えますこちらもさっきを反しした日以降のところ僕を黒く見えている そういうふうに撮ってるんですけど興銀が でえっとこれを例えばここからここの範囲にわたって今度はこちら方向からですね 引き抜いて真上から見てあげるとこんなゾーン な からここで見えてる9なんかこうちょっとよくわからない構造と知り高浩祐江蔵という のが全部重なったぞ なって沼分かれていただけると思います まあですのでえっどうこちらがはもちろん厚み方向の塔映像になってるんですけども
(48:46) まぁこういうあの使ったサンプルの厚み分だけに相当するものの塔映像になっていると いうことを意識していただきたいなと そうしますと例えばこれはあの先端の半導体デバイスのまトランジスタの部分なんです きっと9 これは真上から見たものなんですけどもこの黒く表示されてこれ電極に相当でここの 電極のところの断面だけを見たいなと思う この電極の幅がだいたい40nm なんですけども えっとこれをこちら方向から観察するために真イフ浴びでサンプリングします そうすると出てきた結果として えっとみたい電極たぶんこのここの部分に相当してるんですけども この電極以外にちょっとここによくわからない構造が写り込んでしまう これは実はここの部分に相当するものが写り込んでしまう まあサンプルの厚みとしては多分50nm g サンプルができていると思うんです けども こんなんかいっ
(49:48) これをしっかりえっと加工してあげると奥行き方向にこういったこの写り込みのない サンプルができてまあこの47メートル以下のサンプルが出来上がっていうことがああ いう こういったことをしっかりやらないと ご自身が見たいものだけを取り出して見ることができないということになり それから8厚みが変わると8味方見え方が変わりますよという風のお話をしました これはえっとやはりあのシリコンデバイスの越冬こういう 電極とえっと白魔かコンタクトしているところを取り出したものなんですけどもこれ だいたい500nm くらいの厚みで 作ったサンプルの頭数観察欠陥があります これはちょっとあのまぁこれでもいいんですけどもまぁもう少し 悪魔化してみたらどうなるかということを確認してみました 同じところで薄膜を進めました そうするとこういうふうに8見え方が変わります まずこの部分にもう一塗装があるよということですねそれから8タングステンの中には
(50:58) ほとんどポイントだその変化が認められなかったんですけどもまぁこういうグレーン 構図が見えてきてタングステンが多結晶である それからまあシリコンと so 2の間に非常に綺麗なコントラスさがあって まあなのでデバイスの構造をはっきりみようと思ったらやっぱりこっちの方がいいねと のであの まあえっとここまで薄膜化するまあなかなかまあ難しいと思うんですけどもどうしても まあご自身が見たい 構造発揮させるためにはやはりある程度の薄膜化を進めなければいけない 本来の構造を見逃してしまう可能性がありますよということになります それから越冬薄膜加工をした時のアーティファクトの問題なんですけれどもこれはの サングラスの上につけている 8反射防止膜の積層構造を見ようとしたものなんですけどもまぁアクリルのレンズが 非常に柔らかいのでえっとまぁテムのサンプリングの方法のひとつは ダイヤモンドナイフを使ってサクッと切ったん レンズはレンズの方が綺麗に消えているんですけど残念ながやっぱ硬化体膜というのは
(52:05) うまく切れずにこういうふうに行こう 亀裂が入ってしまう frb はこういう3分の硬い柔らかいにえっと依存歳市内へと加工が ができますのでまあこういうふうに8アーティファクトない綺麗な サンプルを作ることができることねえっまあなんか硬さの違うものが入り混じったもの を 観察してみたいなと思うときには甘い5がオススメなんじゃないかなというふうに思い ます でえっとまぁ fab がいいという話を安堵させていただいたんですけども fib の最大の問題点は 加工のダメージ これはもう10年ぐらい前からずーっと言われていることなんですけども 実際ファイル以下この時には8まあがルームのイオンを 例えば加速電圧40球とかですね30球とかんでまぁ当てて スパッタリング現象を利用してま加工していきますなのでえっとそのガリウムが 立ったときに結晶性が壊れたり中の物をごミキシングさせてしまったりとかそういう ふうなダメージが発生します
(53:12) でまぁ通常テープのさんとでここまで薄膜化してこっち側から見るんですけれども 出来上がったサンプルをですね今と周りをこっち 樹脂で埋めてえっとこっち側から観察できるサンプルを作ってみた結果つがこちらの でえっとまぁ厚み100ナノメートルのところについて えっとこの黒い部分は結晶性のシリコンが 山論しているところなんですけどもこの両側にある 8 グレ色の部分というのはまあシリコンがまあも老化し を持たず化してしまっていてここの部分が祝いですのダメージそうというのに相当する ということになります ね107の時はまだいいんですけども集めが50なのになってくるともほぼ もうダメージそうになってしまうということになります なので8このダメージそうをいかに9取り除いて観察するかということが非常に重要に なってきます でこちらはまあ従来のえっと方法でまあまあ fib だけで 加工したサンプルのまあ断面像なんですけどもやはりこういう熱い段目
(54:21) ダメージ須藤っていうのがあります ねえと こちらの方はえっと fab の加工した後に と加速ですが低いアルゴン4 b 6を使ってダメージ巣を取り除いたとものになり ます 押しますとどうもこの試合酸化膜だけになっていてほとんどこのダメージに相当する そうてねがないとことがわかります こういう風にしてえっとまぁ低加速の と4便もを使ってダメージ等を取り除いてあげるということが今まで着るようになって います それからこちらは8ガリウムナイトライドの えっと発光素子の越冬を観察結果なんですけどもこれは fib で30キロ加工をし た抱ける さ でこちらは8その仕上げ角をしたものですけど実際みたいところはこの活性層と言わ れるま発行するまあ非常にこの回 多層膜の部分に相当しますここをはっきり見たいんですけども残念ながらやっぱり frb 加工だけでは a いろんな子付着物とかダメージがいっぱいあって あの見にくくなっていると思います
(55:26) なので8やっぱりここまでしてえっと観察をしていただく必要があるということにあり ます はいえー まあ以上あの色々とお話をさせていただきましたけれども 最後にちょっと簡単にまとめて終わりたいと思います まずえっとまぁて無双のコントラストの由来というのは理解していただきたいという ことでええ ちょっと数あの高原中で名前出さなかったんですけども 決勝生に依頼する解説コントラスト それから越冬まあ元素の種類にへという害すること質量を集めコントラストというもの が入れ混じった像になってるよと言う それから今お話ししたように舞い処理法の特徴をまあ理解していただいて絵馬 fib を使ってやるのはいいと思うんですけどもまぁダメージそうですとかそれから厚みを どれぐらいをするかとかということを まあうまくコントロールしてやっていただきたいなと思います それから観察方法を工夫するということで先ほどポリシー今の例でご紹介しましたけど もテムって言うとなんか断面っていうそういう
(56:32) まああの来て概念みたいながあるんですけどもまぁいろんな方向から見てあげて まあなるべく情報を増やしてあげると良いなと思います それからあの最後にも苦手な方が多いんですけれども回折パターンを最大限活用して ですね ぜひまあいろんな情報を取り出していただきたいなというふうに思います はいでは胃腸で精霊とさせていただきたいと思います
