圧延機
平面研磨
平面研磨加工は、製造業において一般的な研磨加工の一種で、精密な平面度や良好な表面仕上げを実現するために使用されます。この加工法は、主に金属材料やセラミック、プラスチックなどの素材に対して適用され、半導体製造や精密機器の部品加工など幅広い分野で活用されています。
平面研磨加工は、研磨砥石(研磨材)を用いて被加工材料の表面に摩擦力を与え、微細なチップを除去することで所望の平面度や表面粗さを得る方法です。研磨砥石は、粒度や結合材、形状が異なる様々なタイプがあり、加工条件や目的に応じて選択されます。
平面研磨加工には、主にロータリー式とリシプロ(往復)式の2種類があります。ロータリー式は砥石が回転しながら被加工材に接触することで研磨を行い、リシプロ式は砥石が往復運動を行いながら研磨します。それぞれの方式は、加工精度や作業効率、研磨材の寿命などの点で異なる特性を持ちます。
平面研磨加工の際には、研磨砥石の摩耗や熱変形を抑制するために冷却剤が使用されることが一般的です。冷却剤は、研磨砥石と被加工材の間に流れることで、熱を奪い、摩擦力を低減し、研磨粉を洗い流す役割を果たします。
平面研磨加工の品質管理では、研磨状態や研磨量を適切に制御することが重要です。研磨量は、研磨時間や研磨圧力、砥石の回転速度などの条件で調整され、品質を確保するために適切な設定が求められます。また、加工後の検査では、平面度や表面粗さを測定し、品質基準に適合しているか確認します。平面度は、干渉線法やレーザー干渉計などの光学測定法で測定され、表面粗さは、スタイラス型表面粗さ計や非接触型表面粗さ計を使用して測定されることが一般的です。