シリコンウエハにレジスト(感光性樹脂など)を均一に塗布する半導体製造工程を模したデモンストレーションです。 ・ダイレクトドライブモータ(一芯二軸)によるシンプル構造のリンクアームロボット ・中空シャフト内を通した真空圧でウエハを吸引し,回転させるスピンモータ Tweet Share Hatena Pocket feedly RSS 歯車とラックギアの製作現場【ホブ盤・ラック盤】スピンコーター滴下・エッジバックリンス動画(MS-B300/ミカサ株式会社)関連記事一覧 高周波焼入れでローラーを焼く 2-3.破損しやすい工具を測定するとき 接触式工具長測定 工作機械 000410 リンク式チャック機構 せん断応力の計算方法を演習しよう!【材料力学の演習(初級編)】