シリコンウエハにレジスト(感光性樹脂など)を均一に塗布する半導体製造工程を模したデモンストレーションです。 ・ダイレクトドライブモータ(一芯二軸)によるシンプル構造のリンクアームロボット ・中空シャフト内を通した真空圧でウエハを吸引し,回転させるスピンモータ Tweet Share Hatena Pocket feedly RSS 歯車とラックギアの製作現場【ホブ盤・ラック盤】スピンコーター滴下・エッジバックリンス動画(MS-B300/ミカサ株式会社)関連記事一覧 アルミ箔 (薄さ50μm)の超鏡面研磨 研磨後表面粗さ Rz 6.9nm 購買先とのトラブル防止管理 エキシマレーザ-微細加工(アルミナセラミック、ポリイミド、高融点材料等への微... 制御系設計論2021_11_拾壱Part1:同一次元オブザーバ