シリコンウエハにレジスト(感光性樹脂など)を均一に塗布する半導体製造工程を模したデモンストレーションです。 ・ダイレクトドライブモータ(一芯二軸)によるシンプル構造のリンクアームロボット ・中空シャフト内を通した真空圧でウエハを吸引し,回転させるスピンモータ Tweet Share Hatena Pocket feedly RSS 歯車とラックギアの製作現場【ホブ盤・ラック盤】スピンコーター滴下・エッジバックリンス動画(MS-B300/ミカサ株式会社)関連記事一覧 1 4 磁場解析入門セミナ(材料定数 鉄損 5m29s) 直流回路 17 電力 ロボットハンドSOFTmaticsハンドリング事例【おでん】ロボット自動化 第一回 不良対策がなぜうまくいかないのか? 動画講座「不良ゼロ対策」シリーズ