シリコンウエハにレジスト(感光性樹脂など)を均一に塗布する半導体製造工程を模したデモンストレーションです。 ・ダイレクトドライブモータ(一芯二軸)によるシンプル構造のリンクアームロボット ・中空シャフト内を通した真空圧でウエハを吸引し,回転させるスピンモータ Tweet Share Hatena Pocket feedly RSS 歯車とラックギアの製作現場【ホブ盤・ラック盤】スピンコーター滴下・エッジバックリンス動画(MS-B300/ミカサ株式会社)関連記事一覧 温度/振動センサ OnSinSensor 工作機械と同じGコードでロボット制御 真空前処理型 超音波バリ取り洗浄装置 MARS(マーズ) 交流回路 17 アドミタンスの計算法