第10回 微細加工プロセス技術セミナー（2021年11月24日）
【プラットフォーム技術紹介】
講師：産業技術総合研究所 有本 宏
ナノプロセシンク施設（NPF）でのALD成膜事例やALDで成膜した薄膜のXPSによる組成分析、X線回折装置による結晶性評価、SIMSによる不純物分析などの薄膜評価技術を紹介するとともに、新規に導入するALD装置の紹介をします。
関連WEBサイト
https://ssl.open-innovation.jp/npf/
https://nsn.kyoto-u.ac.jp/
