第8回 微細加工プロセス技術セミナー（2021年8月25日）
【チュートリアル】
講師：東北大学 森山雅昭
Siの深掘りドライエッチング(Deep-RIE)に用いられている技術は、MEMSデバイスの作製において基本的かつ重要なものです。本講演では、Siの深掘りドライエッチングで主に用いられている技術であるボッシュプロセスの仕組み、エッチング中に起こる現象、Si深掘りエッチングの応用例について解説します。
【書き起こし】(2) 「Si深堀エッチング（Deep-RIE）技術とその応用」
(00:00) 20分 本 ん ご視聴ありがとうございます東北大学の 昨今ランドリーのも似合うと申します よろしくお願いします本日はシリコンほか ブリーチングディッパーリリースと行う ようについて紹介させて解説いたします 本2発表内容としてはこのようになって おります シェパードライティングなんですけども8 主に二つの2系統のガスによってドライ エッチングされておりますまずフッ素系の ガス s とゼノン大プロライドですね こちらの a プラズマのターズにそのままこの菓子で チンされます acf 4ます scp つ が数は ri 装置でプラズマかで愛知部 されますまた cl 雑ちーるつ sai 塩素ガスですねこちらもですね+まで洗い て触っております
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(02:11) 駅ば濃度をですね下げることによって反応 生成物が測定器にいきますのでまっすぐ 惚れるということになってるんですけども まぁキーワード濃度を上げていくと どんどんサイディング進んで人の場合は ですねフォトレジスト パティいきますああああああ でき聞いて中条2ですね帝王化するとです ねあの解析物どんどん的についていきまし て で本当はまっすぐおりたいのにまぁ テーパーに乗ってへチームされていくって いうのがありますのでまぁ温度調整と 難しいというのとあと まあ 冷やすためには出て液体窒素とか使ったり して言いました思うでも惚れの間とかも ありまして 反応そぺちんぐへともそういうということ で a 星プロセスというのが開発されましたこれ は何かというとですね自動車部品メーカー のドイツなどガード坊舎がですね知り本を 深くパスフォルトいう技術を開発しまして それが登った後死者の名前とって星 プロセス飛ぶ呼ばれております
(03:15) 加速度センサーとかですねジャイロ センサーですね今 mems で使われて いるセンサーこの技術がないと思うことも も作れません非常に大事な技術です これはなんかのこのギー プロセス何かキュートですね a 小学校つけるラストですねちん子する ガスこれを交互にですね入れまして それぞれ保護人をつけがつけたりチームを したりこれ売り出していきましたそのよう なですね保護膜の付 a 事務 8 u 酢ですね振り返していくことに よっえええ 言いますのでだめーてー所見ますおゆずに 段々になっておりましてこれが貝殻の模様 に見えるのでますテロと呼んでおります こちらの deeper 雷双角ですね ダイヤクズなんですけどもガスボックス からですねガスが晴れチングもしくは パッシベーションガスが入りまして でハイ cp コイルですねチャンバーの 上にあらゐシティコールドところで+任さ れてですねそれら文化された嘘家も本気 からやポリマーですねそれがキューバに
(04:18) ついて h 鎖保護膜つけたりします こちら右のほうがですねそれの概要なん ですけどもまず全体的ですねえ パッシベーションも for mac を つけますポリマー ヌード a face オープン薬プロパティですね フッ素イオンを基盤に引き寄せて資本の 正面についているパフォーマンスを破って 敗れたところから東方エッチングが始まり ますしばらくすると全体的に良いチームさ れまして r 程度 properties for マティするという繰り返しがロス もう大きなあれになります この技術使うとですねスゴイアスペクト 高い a キーが活性されるということで やっぱりちょっとちょっと一礼をしレース しますまあ135分アスペクトでして すごい たか言えるのです なぜあのまっすぐ使って掘っていくとです ねどうしても大きいパターン2ですね パターンによってですね以上ネっ子が 起こってしまいます例えばですね 開口が大きいとですねうんん
(05:23) プラ店基板側に杯塩酢をかけるとシスと 言われる恋愛が発生するんですけども外交 が多くなると殺しサージばに沿って曲がっ てしまいますってでいようがですね プロペに買ってた時に入って募集を買った 時にこの浸水沿って突確に入りますですの であのますその解法が小さい場合とかー エッチングぐらいですねあ栽培はです獅子 まっすぐなんでまっすぐ底面が出るんです けども幅の広い 拾ってさらに深く掘っていくと牛す曲がっ てしまうのであの曲っイオンです入社が 曲がってしまうんですねそうすると曲がっ て入ってしまうのでこのと匹したで本訴 悲願の困ったらやられてしまってパソコ から凍っえっああぁっっしまうので bouvet いろいろな方あ解決方法 あるんですけどもまぁ ア ティその後に大きいパターンを掘ってです ね逆テーパーになってしまうのでまぁその
(06:28) が一致していけばもうほど部分がまあそれ でっ 低迷のはですねあの h c ポインティングされてしまうので最後で 実装を飛ぶとこのようなページをなるって いう方法が使われておりました 以上エッチングの軽重なんですけど先ほど の良いジョイチームはボーイっこれですね このような形なんです また出しでフォトレジスト所 絶縁体なのでまぁフォトレジスト度でも再 じゃあしてですね起こればいいもう入り口 からも曲がってしまう 寝室で回れるなんてこのエハンパチ伊予目 の反発によってもアーちゃんになって もらってしまう あとですね s は言え入ってしり本とし 日本貼り合わせたウェバー a web で よく使われますけどもハリアースター対面 はですね全体なんですねあの sio 2 尻尾の酸化膜なんですけども この上シリコーンの酸化膜がですね一度 進めて出てしまうとですねここにほぼ イオン便が溜まってしまいます しーぽんエッチングするものがないんで まぁ曲がって絞ってですね息切らしたの方 ですねえチヌされてしまってですね
(07:34) ここですねこの部分 この部分ですね なあ以上ないチングを起こしてしまいます まあこれをノッチングと言っております これを防ぐ方法としてですね 何するか方法があるんですけども まずあの高齢の方ですねガスを分解する オイルの方の栄光中あのいいかの仕方を 変えましてパシーンカーですね 正の電荷うと f の便可それぞれを 切り替えながらですね やることによってチャーチ oo を 少なくする方法とプラてるん基盤はの バイアスですねバイアスが火にかける高 周波をですね停車場 あのさん3桁4桁して周波数のですね低 周波で引火することによってさらにそれを ですね パラス引火することによってチャージ アップした廉価が逃げる時間とかですね家 はされるようにしております a 以上あり ポリスね実際我々のポロにあるあー
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(10:46) よって エッチング中のプラズマによってですね 加熱された上ハードの水をですねフェリー 本帰ってステージに 伝えておりますねこれで冷却をとっており ますでこのリップ c でオーディンが 切れるとエギも覚えてしまうデー関わり たかって参考に以上 h んが起こったり します 4号機の方は先ほど言われ味説明したあの ずっと一緒なんですけども 高出力のですねあれぐですね足ピコル小 出力してですね歌手の流量も入りの外でも 挙げた装置たってて高速に神できるという 装置ですこのそうですね初期型の装置でし てん ブーバーんですけども ブーバー c ポリープカーしてポマール ねっ連日あるんですよ俺え パティオンエアラジカルか上原の凍ったん ですその a でそれで反応生成物などが
(11:50) 入るターボ区の日本で配置されていきます 現在のですね 良作じゃですねものソって言う 法則ザク的対応するためにですねガスボス 子供 a子沿ってこの不可侵ではですね ガスボックスからですねをちょっとガスト ライン取手入りチャンバーに入ってくるん ですけれども子供3番に入ってくるライン の長いんで出すの切り替えをしてるんです ねなかなかことがないんですねあの 切り替えはすぐわらべうたので今の酵素 飲んで協賛金はですねもう山版の直上に マスプロポンプローラーが付いていて パスの切り替えをしてもすぐ 丹波に入るようになっております で昨今乱取りでのですね標準ベスティなん ですけども数種類をしておりまして標準的 なレシピとしてニューノーマルプレイつっ て言う名前がです レジスト塗布のですねポーセンターキー レシピっていうのとあと a stellar ぽ小さくする食べが停止 キャロルレシピっていうのはあります ヒュン sp でですね実際にエッチング スター
(12:55) ものですけども [音楽] ブーバー れアーメンですね上母パティ 一ぺんしるねこのように hk 6が見え ます 星プロセスにわけですね高専ターキーどう やってやるかって言うとですねこの守備と 精密と装置はですね エッチングのフェーズと脚別ジョブの フェイスそれぞれ3つに挙げることが できるですね ねそこでですねえパティションふわぁの そのまま標準レシピノーマンとロスけども ちぐむフェーズですね3つ分かしてですね それぞれやっぱり パティはじめ愛知フェーズ1話です目えー イオンとかですねアジカルなで和室寄せ られて底面まああの レジ出場の a マクソ細くもエッチング されますあの 叩かれるんですでボソボソになるんです けども底面のですね知り子が出たところ簿
(13:58) そうそうになってパフォーマー久保そう そうなってぺんったところから後方エッジ が始まりますあと光一初めてでまでですね この方ワープもうリフトされてしまうので ここでですね 講習さん 空てのポーションファーの視力を下げまし てさらに液冷と稼ぐ度を増やすためにして 覚醒し多くするために厚リプ上げています ぱすいません8プラ米の電力をですねえ 下げるとですねあの イオン衝撃や少なくなるのでフォト レジストへのダメージが少なくなります まあこれによってですね 洗濯機が上がりますさらにあの 愛知冷凍ですね大きくするためにですね ここで味力も上げてるんですねそうすると ラジカルウェアフィルムがですね増えます でまぁこれで駅レート上がるんですが攻め パターンの場合あのんやっぱりカーゲーム と兵器十方店長が伸びあの3時だとなって しまうので注いパターンを伝いところに 帰っていかなくなってしまうんですねそう いった場合はこのレシピではなくてもう ちょっとカスタマイズ2必要があります その後ですねパッシベーション膜のパスペ
(15:02) シャのステップ l フェスでですね移行 するためにちょっと圧力差が大きいので まあそれを運営のためのフェーズを a 調整しています 実際にこちらの構成になってレシピで エッチングしたものなんですけども3割 程度ですね202割ちょっとですね キレイ統一体からたり運営と上がっており ます4キャラこばですね先ほどプラベート が大きくなっているのがわかるかと思い ます えええ あの日パーレーティングのですねレジスト 膜厚標準別死人甘くレッツとあれを正確し レシピ比べますとですね new の マークトレンチャーレシピアーマー選択し 108程度なんですけども構成と厳しくだ とでじっとフォーレ選択しようてる30て いったでますただしこれはあの先ほど行っ たためにe 1000枚パターンの場合は 市が進まないという問題もありますので レシピ王をカスタマイズしたらこの選択肢 もうん変わっていきます このスキャロップですねどうやって取る かって言うとですねまぁ身も蓋もない話で 出すとの切り替えをしないとはこれだと星
(16:07) プロセスないちょっと除外しますがその後 菓子の国旗理解法則化するとただ切手の ポスカすると4 h 0てもかかって しまうので注意が必要です あと水素アニールですね水槽ニール もうすることによって表面がバーカになり ますあーケミカルドライエッチング装置で 決めたどれあの cf 4棟つかんそぼーて妹ラジカルで エッチする方法と参加をしてね酸化膜を とってなだらかにする方法があります パッシベーション膜の とへ除去なんですけども酸素+まではです ね取れないので専用の薬液を使ったりし ます例えばなお住友2ゲームのリック ハイドロフロア hyde のフォロー 漏洩てるですねこれを使ったり 超臨界状態で 23野田村超臨界状態ですっ洗浄する方法 後先ほどの参加をして文化して通る方って いうのがあります こちらのテイスティのプレヒート標準米式 の違いなんですけども 標準レシピ比べると提示であるプレシアは このちったぁの小さいにしたことになって
(17:12) いるのが分かりましたらしいベイトもです ねかなり小さくなります こちら水素ニールで表みんなドラから スタート 写真ですねシャーロックが亡くなっている のがわかります ん こちらはパッケみたらドラエッチなんです けどもぽいランドリーでですね様と各紙が a 報告なんですけども左側 処理前玲奈各真ん中と右が処理後です で真ん中のですね300圧倒通りもう ところ増加でチンしたクッキーはですね えぇまぁシャープがちょっと好きです提言 をされてますが6系パッドで30メートル とこのように綺麗にセールが取れているの がわかります私の方でもですねえ挑戦と p レシピ大きいのもやってみたんですけども あの狂人レシピリアですね30秒の処理で まぁほとんごなくなっています5000 立つ日の方ですねシェアプロパティあっ ジャッカー低減されているって言うので もう少し処理がティトになりますん リッパーラインですですがまぁボス プロセス体は時ですどうしても価格カポ
(18:17) するので裏面のここは必要になりますこの 保護はですね熱剥離シートを使ったりです ね フォトレジストアーチャー などの獅子ワックスオイルなどを使っ売っ ていますこちらから すぅーっんん 見やすくするためにからソレハハルつけた ところなんですけどもうフォトレジストを 出た民反塗って ガラス上刃を正のペットですねまぁ雪あの 密着していく様子と頑張りますただしこの 状態ですとであのエッジングかけてしまう と デジと体の溶剤でへ発砲してしまうので 勉強する必要がありますまあ 高い温度でですね110度ホットプレート でちょっとウィッグしてしまうと中の錠剤 がすぐですねいやげええ こんでしまってです中であっ夫バブルが 発生してしまうのでこのエリアですね神宮 のプラズマぬふ料が発生しますベスト会で hv 温度ですねゆっくりじっくり勉強 する必要がありますあの90度5分で41 レザーだと1時間ですちょっと足りなくの で3時間程度
(19:22) this day する必要がありますパクさんっにょのです ねまだミーハーグル2ダミーはいいいえ にまああの滴下して で貼り合わせますで10分が10分程度 楽器して 後もれてボタンにプロポ色も出てこない ようにまかっ金テープで貼ったりします 歌運勢あのにパールパウダーたんですけど も a 120度と で以上でですね粘着力がなくなるタイプを 使う場合はですねだいたい130度くらい にフォトプレート加熱してでおきますそう すると sa パンん 数十秒ってですねもう粘着力がなくなって ですねダミーハードはがすことができます なぜこの発砲名学校名ですねフォト レジスト と一緒にくっついちゃうとあの辺リストに 教材によっている発砲しなくなってしまっ てですね剥がれなくなってしまいます こういった合致失敗もチョップしてして しまいました 最後ですねいっぱいラインの王様として ですね深いとれっ子立派でておりますここ
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