スピンコーター滴下･エッジバックリンス動画(MS-B300/ミカサ株式会社)

＜スピンコーター滴下･エッジバックリンス動画＞
滴下及びエッジバックリンスを一連の流れで処理することが可能です。機種のグレードにより異なりますが滴下・エッジリンス・バックリンス4系統までは設置が可能です。異なる基板サイズにも対応が出来る機能も追加可能です。ミカサ　http://photolithography-rd.com/spin_coating/）